Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190957 à vendre en France

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ID: 190957
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Nitride furnace, 8" Specifications: Process: Nitride Software version: TS-4000-1996 Power: 110AC One Phase / 208 AC 3Ph Loading configuration: 6 loader Main system: TS4000 Controller Photohelic Gauge Boat Elevator Wafer Load Automation 16 Cassette stocker Temperature Controller (M121) Furnace Monitor, Power Control Unit Remote Utility & Gas Cabinet Inner T/C for Ration Mix HCL Detector Auto Shutter Gas system (NH3, DCS) Options: (1) Signal Tower (2) Pitch Change Mechanism (3) UPS (4) GEM Communication N2 Load Lock Ambient Control Option Load size 170 wafers Load lock purge system Process gas NH3, DCS Gas Type - Convention Gas System Tubing material - Stainless steel Tubing Finish - Electro-polish Manual valve - Fujikin Fitting Type - VCR/UJR Air-Operated valve - Fujikin Filter - Millipore Regulator - Veriflo MFC - Aera Pressure transducer - Millipore or NAGANO 1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four à diffusion et accessoire utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est capable d'effectuer l'épitaxie en phase vapeur (VPE), l'oxydation thermique sélective et le dépôt de nitrure de silicium, ainsi que d'automatiser les processus de conversion des LED. Il dispose d'un chargeur automatisé facile à utiliser avec des systèmes de contrôle informatique intégrés pour un contrôle précis de la température et un traitement uniforme des plaquettes. TEL ALPHA-8S a une limite de température élevée standard de 1250 degrés Celsius, ainsi qu'un système de régulation de température multi-zones pour réguler la température sur plusieurs régions. Le design avancé d'économie d'énergie et les matériaux de pointe de la zone chaude garantissent des performances thermiques élevées et une plus grande uniformité des processus. L'entraínement de la broche porte-air et le mandrin à pointe profonde assurent un positionnement précis du substrat et une facilité d'utilisation. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S dispose également d'une interface intuitive homme-machine (HMI) avec une gamme d'outils d'affichage, y compris des moniteurs doubles de 6,5 pouces et une interface graphique zoomable pour une surveillance facile des paramètres du processus. D'autres caractéristiques comprennent le contrôle thermique multiple pour les applications de traitement de la chaleur de ligne et de point (LPH) et la maintenance à distance pour prévenir la dégradation de la qualité des dépôts due à une utilisation anormale. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S utilise une technologie de pointe et des logiciels propriétaires pour maximiser la qualité des produits tout en offrant efficacité, économies et performances optimales pour l'optimisation des processus et le contrôle des rendements. Sa chambre en alliage d'aluminium à faible réactivité, son courant de Foucault uniforme et son blindage refroidi par air le rendent idéal pour les opérations de long-cyclage. Combiné avec le chargeur de substrat automatisé TEL compétitif, ALPHA-8S fournit aux clients un système de contrôle intégré pour un environnement d'équilibrage des nœuds, assurant une performance optimale du processus.
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