Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190957 à vendre en France
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Vendu
ID: 190957
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
Nitride furnace, 8"
Specifications:
Process: Nitride
Software version: TS-4000-1996
Power: 110AC One Phase / 208 AC 3Ph
Loading configuration: 6 loader
Main system:
TS4000 Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
16 Cassette stocker
Temperature Controller (M121)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility & Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
HCL Detector
Auto Shutter
Gas system (NH3, DCS)
Options:
(1) Signal Tower
(2) Pitch Change Mechanism
(3) UPS
(4) GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control Option
Load size 170 wafers
Load lock purge system
Process gas NH3, DCS
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - Fujikin
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - Fujikin
Filter - Millipore
Regulator - Veriflo
MFC - Aera
Pressure transducer - Millipore or NAGANO
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S est un four à diffusion et accessoire utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il est capable d'effectuer l'épitaxie en phase vapeur (VPE), l'oxydation thermique sélective et le dépôt de nitrure de silicium, ainsi que d'automatiser les processus de conversion des LED. Il dispose d'un chargeur automatisé facile à utiliser avec des systèmes de contrôle informatique intégrés pour un contrôle précis de la température et un traitement uniforme des plaquettes. TEL ALPHA-8S a une limite de température élevée standard de 1250 degrés Celsius, ainsi qu'un système de régulation de température multi-zones pour réguler la température sur plusieurs régions. Le design avancé d'économie d'énergie et les matériaux de pointe de la zone chaude garantissent des performances thermiques élevées et une plus grande uniformité des processus. L'entraínement de la broche porte-air et le mandrin à pointe profonde assurent un positionnement précis du substrat et une facilité d'utilisation. TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S dispose également d'une interface intuitive homme-machine (HMI) avec une gamme d'outils d'affichage, y compris des moniteurs doubles de 6,5 pouces et une interface graphique zoomable pour une surveillance facile des paramètres du processus. D'autres caractéristiques comprennent le contrôle thermique multiple pour les applications de traitement de la chaleur de ligne et de point (LPH) et la maintenance à distance pour prévenir la dégradation de la qualité des dépôts due à une utilisation anormale. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S utilise une technologie de pointe et des logiciels propriétaires pour maximiser la qualité des produits tout en offrant efficacité, économies et performances optimales pour l'optimisation des processus et le contrôle des rendements. Sa chambre en alliage d'aluminium à faible réactivité, son courant de Foucault uniforme et son blindage refroidi par air le rendent idéal pour les opérations de long-cyclage. Combiné avec le chargeur de substrat automatisé TEL compétitif, ALPHA-8S fournit aux clients un système de contrôle intégré pour un environnement d'équilibrage des nœuds, assurant une performance optimale du processus.
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