Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #9275714 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E est un équipement de traitement thermique par lots vertical pour les applications mono-plaquettes et multi-plaquettes. Il dispose d'un système de surveillance de la température des composants et d'une unité de contrôle de la température et de la pression en boucle fermée. La machine est conçue pour améliorer l'uniformité et la précision de la température. Sa conception offre également une large gamme de températures et un contrôle précis de la température, ce qui le rend adapté à une gamme de procédés semi-conducteurs à étapes tardives. TEL Alpha 8SE-E est un four de diffusion monobloc, multi-lots, capable à la fois de procédés de diffusion et de recuit d'impuretés. Sa plage de température varie entre 200 ° C et 1050 ° C, ce qui la rend idéale pour une variété de procédés tels que diffusion, oxydation, nitruration, nitruration et recuit. Le four a une excellente uniformité de température de ± 1 ° C ou mieux, permettant un dopage uniforme et des traitements thermiques des plaquettes. Le four dispose d'un chargeur intégré et d'un outil de débit de gaz qui permet aux utilisateurs de contrôler le débit de gaz de l'atmosphère de travail. Il est fabriqué en faible masse thermique, matériau chimiquement inerte, permettant un traitement thermique rapide des plaquettes. Il dispose également de plusieurs moteurs de levage, ainsi que d'un chargeur de fond, pour faciliter le chargement et le déchargement du four. Les plaquettes sont chargées sur un waferboat et alignées sur un support hexagonal. L'actif est équipé de TSS (Thermocouple Sensor Model) qui mesure la température des plaquettes avec une précision maximale. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E dispose également d'un équipement de commande PID (Proportional Integral Derivative) pour un contrôle précis de la pression et de la température, même en fonctionnement à haute température. Cela augmente la polyvalence et la précision des processus. Pour des raisons de sécurité, le système est équipé d'une alarme à haute température. Son extérieur est équipé de dispositifs de sécurité tels qu'une unité de contrôle de température verrouillée par un code de passe, ainsi qu'un interrupteur d'arrêt d'urgence accessible. Alpha 8SE-E est un four de diffusion polyvalent et précis qui offre aux utilisateurs une uniformité de température, une précision et un contrôle accrus. Avec ses différentes capacités, il est bien adapté à une variété de procédés et d'applications de semi-conducteurs.