utilisé TEL / TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z à vendre

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ID#: 115121 Fabricants: TEL / TOKYO ELECTRON Maquette: ALPHA 8SE-Z Catégorie: DIFFUSION FURNACES & ACCESSORIES Cru: 2000 Wafer Size: 8" Détails de l'équipement: Vertical Anneal Furnace, 8"
Model: A8SE-ZAR
Process : LT Forming Gas (H2 Anneal - Reflow -Beol)
Standalone Furnace with Tunnel Layout and Non Shared Gas Cabinet
2 Loader Ports
NON-SMIF
Low Temp Heating Element
5 Zone
Heater Type : VMM-40-104
Waves Controller
AERA MFC's
N2 Loadlocks
No Boat Rotation
Wafer Capacity - 170 Total, 150 for Production run
208VAC
50/60hz
3 Phase Wiring
2000 vintage.
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