Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS #9003694 à vendre en France

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS
Vendu
ID: 9003694
Furnace, FTP sinter, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS est un ensemble de four de diffusion et d'accessoires conçu pour le recuit à haut débit de plaquettes semi-conductrices avancées. Il dispose d'un four vertical à 8 baies, d'un équipement de transfert de substrat et d'une suite de logiciels de contrôle. Le four vertical à 8 baies TEL Alpha 8SE ZABFNS est un dispositif de recuit de précision à haute température dont la température nominale varie de 600 ° C à 1300 ° C Il comprend des lampes halogènes à double niveau avec la capacité d'augmenter la température jusqu'à 200 ° C en sept secondes, permettant des temps de recuit de seulement 6 minutes. Il dispose également d'un certain nombre de systèmes de contrôle du débit de gaz, d'un régulateur de pression à sept points à un régulateur de débit massique de cellule de diffusion, largement utilisé dans le recuit amélioré par plasma. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE Le système de transfert de substrat ZABFNS permet aux utilisateurs d'obtenir des résultats précis à des vitesses élevées. L'unité comprend une machine de livraison linéaire innovante composée de deux modules principaux : le chargeur et le déchargeur. Le chargeur offre une efficacité opérationnelle et une flexibilité instantanées en permettant le chargement et le déchargement rapides des plaquettes de 8 pouces entre les étapes de traitement. Le déchargeur améliore la vitesse et le débit à l'aide d'un outil de transfert de mandrin incliné unique et d'un chariot de plaquette entièrement automatisé. Le logiciel de contrôle d'Alpha 8SE ZABFNS est conçu pour maximiser l'efficacité et la précision des utilisateurs en leur permettant de surveiller à distance les données de traitement, d'accéder aux informations sur les actifs et de contrôler manuellement les opérations des modèles. Des fonctions d'analyse et de rapport très avancées sont disponibles grâce au logiciel, y compris une base de données de recettes intégrée pour créer, enregistrer et exécuter des opérations de processus standard. En résumé, TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS est un équipement avancé et fiable de four de diffusion optimisé pour le recuit à haut débit des plaquettes semi-conductrices. Il dispose d'un four vertical à 8 baies, d'un système de transfert de substrat et d'un logiciel de contrôle puissant pour une efficacité et une précision maximales.
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