Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVS #190711 à vendre en France

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVS
Vendu
ID: 190711
Style Vintage: 2000
LPCVD Furnace Process: SiH4 / Ph3 2000 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVS est un four de diffusion et des accessoires de pointe spécialement conçus pour les applications avancées de semi-conducteurs. L'équipement allie un fonctionnement efficace et une technologie supérieure pour le traitement de films diélectriques à bas k hautement intégrés. Avec sa technologie brevetée ZVS, TEL Alpha 8SE ZVS peut offrir une uniformité de température élevée et une qualité de produit ultime. Le système dispose également d'un mécanisme breveté de verrouillage de charge qui permet des rendements de production plus élevés et un fonctionnement sûr. TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVS est équipé d'un porte-éclats à haute température ainsi que d'un dispositif de chauffage supérieur réglable pour contrôler au maximum la direction de transport du substrat et le processus de chauffage. Ceci permet d'assurer une homogénéité de température élevée dans le traitement de films diélectriques à bas k très intégrés. Le four comporte également une bande de refroidissement verticale pour assurer un refroidissement uniforme et rapide de la chambre de procédé. De plus, le four comporte un volet de sécurité intégré qui empêche l'irradiation des substrats. La machine est compatible avec un certain nombre de recettes de processus prédéfinies et peut être utilisée avec une variété de gaz sources dont l'azote, APCVD/Plasma, Oxygène, H2O, etc. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVS comprend également une unité de contrôle de processus avancée qui permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler facilement les paramètres de l'environnement de traitement. L'outil est également compatible avec une variété de capteurs de précision pour assurer un contrôle précis de l'atmosphère de traitement. En plus de TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZVS, un large choix d'accessoires optionnels sont disponibles pour s'adapter à une variété de processus tels que le soudage de fils, MEMS, et d'autres applications avancées de semi-conducteurs. Ces accessoires comprennent un atout de gestion de l'air pour le contrôle précis et automatique de l'atmosphère du procédé, un bras d'oscillation du substrat source pour le positionnement précis du substrat source, ainsi qu'un modèle d'alimentation en gaz pour la manutention sécurisée de tous les gaz nécessaires au processus de diffusion. ALPHA 8SE-ZVS est un équipement très fiable qui fonctionne de manière fiable et reproductible dans n'importe quel environnement de traitement continu ou par lots. Ses technologies de pointe fournissent des niveaux élevés d'uniformité de température et de contrôle des processus, aboutissant finalement à un produit final supérieur. Avec sa gamme de prix abordable, ses installations complètes et ses caractéristiques de sécurité, TEL ALPHA 8SE-ZVS est un choix idéal pour les applications avancées de semi-conducteurs.
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