Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #144024 à vendre en France

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE
Vendu
ID: 144024
TiN Furnace, 8" System configuration: (Qty.)System Hand LL System Paint Color White Furnace Front Surface Finish Painted Process Pressure 500 mTorr Process Temperature ( C ) 800C FTP Heater Installed Rapid Cooling Unit Installed Heater Type FTP VOS-40-017 (RT)-1000C N2 Purge System Installed 02 Densimeter Model NGK SH-302 SMIF Not Installed SMIF POD (maker/model) N/A SMIF OEM Probe (maker/model) N/A AGV Compatibility Not Installed Process Gasses Process Gas 1 Pure N2 Process Gas 2 NH3 Process Gas 3 H2 Process Gas 4 ClF3 Process Gas 5 TiCl4 Gas Distribution System Basic Style Integrated Gas System Rail Type (Fujikin) Tubing Material Stainless Steel Tubing Finish Electro-polish Manual Valve FUJIKIN Air-Operated Valve FUJIKIN Filter Millipore Regulator Veriflo MFC STEC SEC-7350 (Analog) Press. Transducer Veriflo Press. Transducer Display Reference Compound External Torch Unit N/A Baking System - Burn Out Unit Not Installed Vaporizer N/A Liquid Source Auto-Refill N/A Auto-Refill Provided By N/A Auto-Refill Tubing Interconnect By N/A Auto-Refill Power Provided By N/A Gas System Schem. Dwg/Parts List 2109-323548-13 Panel Heater for Furnace Opening N/A Vacuum System: Vacuum Pressure Controller CKD-VEC Trap Not Installed Pump-FNC Vac Tubing Provided By Customer Manifold Heater Not Installed Water/Cassette Handling Wafer Type 200mm SEMI STD - Notched Wafer Notch/Flat Aligner Installed Cassette Type Cassette-Number of Wafers 25 Cassette Storage Qty. 21 Monitor Cassette Operation Cassette In-Out Sequence Transfer-stage Protrusion Sensor Installed Fork Type/Material 1+4 For-Wafer Presence Sensor Installed Fork-Wafer Position Sensor or Guide Not Installed Fork-Variable Pitch Installed Boat/Pedestal Boat Rotation Installed Cap Heater Installed System Controls System Controller WAVES Remote MMI and Gas Flowchart Not Installed Signal Tower/Colors Red/Yellow/Green Signal Tower Location(s)) FNC Front General Pressure Display Units PSI Cabinet Exhaust Display Units Pa Temperature Control Furnace Temperature Controller M-560A Gas Leak Detection Gas Detection Provided By TEL Gas Detection System Maker Riken Gas 1 Detected/Point H2 U/Box Gas 2 Detected/Point NH3 U/Box Gas 3 Detected/Point ClF3 U/Box Customer I/F Ctrl. Handshakes Other Options and Specials Not Installed Bar Code Reader (maker/model Not Installed Other Options and Specials Bar Code Reader (maker/model Not Installed Chemical Pre-filter Not Installed Rapid Ionizer (maker/model) Not Installed Equipment Layout & Facilities Furnace Exhaust Connection Point Top Connection Cooling Water Connection Point Bottom Connection Incoming Gas Connection Point Top Connection Gas Unit Exh. Connection Point Top Connection Facility Elect. - Equip. Per Input Voltage 3phase 480V Voltage1phase 120V Ctrl Pwr UPS make/model No UPS UPS Input Voltage/Output Voltage N/A Step Down Transformer (Outside) 480V In 100V/200V Out 2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE est un four à diffusion et accessoire utilisé pour un traitement thermique précis des substrats semi-conducteurs. Il est particulièrement utilisé pour le développement de sources/drains et pour le recuit. Le four est fabriqué avec un procédé de chauffage à haut rendement de type linéaire TEL, permettant un contrôle précis de la température avec une excellente uniformité et une réponse à la température. TEL ALPHA-8SE four de diffusion est équipé d'un système de transport multi-canaux de haute qualité, et a une grande capacité de chargement de plusieurs substrats. La chambre de procédé est capable à la fois de traiter l'atmosphère standard et le vide, ainsi que le contrôle de l'atmosphère via un injecteur de gaz in situ optionnel. La gamme de température élevée de TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE permet un large éventail d'exigences de processus, et la conception à double zone permet un contrôle précis de l'optimisation de la température et de l'atmosphère. ALPHA 8 S E est également livré avec des systèmes de contrôle numériques avancés, donnant un contrôle précis et fiable sur les paramètres de processus, tels que les températures, la pression et les réglages d'arrêt d'urgence. De plus, la fonction Auto-Observation en standard permet aux utilisateurs de surveiller les paramètres du processus et d'ajuster in situ pendant le processus afin d'optimiser l'uniformité. Le moniteur de processus saisit également les données historiques de processus qui peuvent être utilisées pour le contrôle statistique des processus (RCP) et l'analyse. De plus, TEL Alpha 8SE est équipé de dispositifs de sécurité standard, tant physiques qu'électroniques. L'entretoise de sécurité empêche les opérateurs d'entrer dans le four et le système de transfert, et fournit un arrêt d'urgence en cas de situations anormales. D'autres équipements de protection comprennent le système de filtration de l'air, qui protège la chambre de procédé de la pression, et le revêtement en caoutchouc résistant à la chaleur, qui assure l'isolation thermique des portes de la chambre. Dans l'ensemble, le four de diffusion TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E et ses accessoires sont un excellent choix pour les procédés thermiques avancés. Il offre un large éventail de capacités, de la normalisation des processus de base à l'automatisation complète, et assure la sécurité et la fiabilité des processus. La solution de couverture avancée aide à améliorer l'uniformité des processus tandis que les systèmes de contrôle numérique simplifient l'acquisition et l'analyse des données. Toutes ces caractéristiques et avantages font de TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E un outil puissant, polyvalent et fiable.
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