Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #144024 à vendre en France
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Vendu
ID: 144024
TiN Furnace, 8"
System configuration:
(Qty.)System Hand LL
System Paint Color White
Furnace Front Surface Finish Painted
Process Pressure 500 mTorr
Process Temperature ( C ) 800C
FTP Heater Installed
Rapid Cooling Unit Installed
Heater Type FTP VOS-40-017 (RT)-1000C
N2 Purge System Installed
02 Densimeter Model NGK SH-302
SMIF Not Installed
SMIF POD (maker/model) N/A
SMIF OEM Probe (maker/model) N/A
AGV Compatibility Not Installed
Process Gasses
Process Gas 1 Pure N2
Process Gas 2 NH3
Process Gas 3 H2
Process Gas 4 ClF3
Process Gas 5 TiCl4
Gas Distribution System
Basic Style Integrated Gas System Rail Type (Fujikin)
Tubing Material Stainless Steel
Tubing Finish Electro-polish
Manual Valve FUJIKIN
Air-Operated Valve FUJIKIN
Filter Millipore
Regulator Veriflo
MFC STEC SEC-7350 (Analog)
Press. Transducer Veriflo
Press. Transducer Display Reference Compound
External Torch Unit N/A
Baking System - Burn Out Unit Not Installed
Vaporizer N/A
Liquid Source Auto-Refill N/A
Auto-Refill Provided By N/A
Auto-Refill Tubing Interconnect By N/A
Auto-Refill Power Provided By N/A
Gas System Schem. Dwg/Parts List 2109-323548-13
Panel Heater for Furnace Opening N/A
Vacuum System:
Vacuum Pressure Controller CKD-VEC
Trap Not Installed
Pump-FNC Vac Tubing Provided By Customer
Manifold Heater Not Installed
Water/Cassette Handling
Wafer Type 200mm SEMI STD - Notched
Wafer Notch/Flat Aligner Installed
Cassette Type
Cassette-Number of Wafers 25
Cassette Storage Qty. 21
Monitor Cassette Operation
Cassette In-Out Sequence
Transfer-stage Protrusion Sensor Installed
Fork Type/Material 1+4
For-Wafer Presence Sensor Installed
Fork-Wafer Position Sensor or Guide Not Installed
Fork-Variable Pitch Installed
Boat/Pedestal
Boat Rotation Installed
Cap Heater Installed
System Controls
System Controller WAVES
Remote MMI and Gas Flowchart Not Installed
Signal Tower/Colors Red/Yellow/Green
Signal Tower Location(s)) FNC Front
General Pressure Display Units PSI
Cabinet Exhaust Display Units Pa
Temperature Control
Furnace Temperature Controller M-560A
Gas Leak Detection
Gas Detection Provided By TEL
Gas Detection System Maker Riken
Gas 1 Detected/Point H2 U/Box
Gas 2 Detected/Point NH3 U/Box
Gas 3 Detected/Point ClF3 U/Box
Customer I/F Ctrl. Handshakes
Other Options and Specials Not Installed
Bar Code Reader (maker/model Not Installed
Other Options and Specials
Bar Code Reader (maker/model Not Installed
Chemical Pre-filter Not Installed
Rapid Ionizer (maker/model) Not Installed
Equipment Layout & Facilities
Furnace Exhaust Connection Point Top Connection
Cooling Water Connection Point Bottom Connection
Incoming Gas Connection Point Top Connection
Gas Unit Exh. Connection Point Top Connection
Facility Elect. - Equip. Per Input
Voltage 3phase 480V
Voltage1phase 120V
Ctrl Pwr UPS make/model No UPS
UPS Input Voltage/Output Voltage N/A
Step Down Transformer (Outside) 480V In 100V/200V Out
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE est un four à diffusion et accessoire utilisé pour un traitement thermique précis des substrats semi-conducteurs. Il est particulièrement utilisé pour le développement de sources/drains et pour le recuit. Le four est fabriqué avec un procédé de chauffage à haut rendement de type linéaire TEL, permettant un contrôle précis de la température avec une excellente uniformité et une réponse à la température. TEL ALPHA-8SE four de diffusion est équipé d'un système de transport multi-canaux de haute qualité, et a une grande capacité de chargement de plusieurs substrats. La chambre de procédé est capable à la fois de traiter l'atmosphère standard et le vide, ainsi que le contrôle de l'atmosphère via un injecteur de gaz in situ optionnel. La gamme de température élevée de TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE permet un large éventail d'exigences de processus, et la conception à double zone permet un contrôle précis de l'optimisation de la température et de l'atmosphère. ALPHA 8 S E est également livré avec des systèmes de contrôle numériques avancés, donnant un contrôle précis et fiable sur les paramètres de processus, tels que les températures, la pression et les réglages d'arrêt d'urgence. De plus, la fonction Auto-Observation en standard permet aux utilisateurs de surveiller les paramètres du processus et d'ajuster in situ pendant le processus afin d'optimiser l'uniformité. Le moniteur de processus saisit également les données historiques de processus qui peuvent être utilisées pour le contrôle statistique des processus (RCP) et l'analyse. De plus, TEL Alpha 8SE est équipé de dispositifs de sécurité standard, tant physiques qu'électroniques. L'entretoise de sécurité empêche les opérateurs d'entrer dans le four et le système de transfert, et fournit un arrêt d'urgence en cas de situations anormales. D'autres équipements de protection comprennent le système de filtration de l'air, qui protège la chambre de procédé de la pression, et le revêtement en caoutchouc résistant à la chaleur, qui assure l'isolation thermique des portes de la chambre. Dans l'ensemble, le four de diffusion TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E et ses accessoires sont un excellent choix pour les procédés thermiques avancés. Il offre un large éventail de capacités, de la normalisation des processus de base à l'automatisation complète, et assure la sécurité et la fiabilité des processus. La solution de couverture avancée aide à améliorer l'uniformité des processus tandis que les systèmes de contrôle numérique simplifient l'acquisition et l'analyse des données. Toutes ces caractéristiques et avantages font de TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E un outil puissant, polyvalent et fiable.
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