Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #62753 à vendre en France
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Vendu
ID: 62753
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2007
Vertical furnaces, 8"
SOD (di-electric) cure / low temp Anneal process configuration
Alpha 8SE-Z (ABF)
125 production wafer processing size
WAVES system controller (V3.23 R001)
M-560 Temp controller
5 zone heater element
400 degree C processing temperature
Rear remote
Has TEL deinstall inspection documentation
Gas system
Pure N21
Pure N22
O2
H2
Schumacher Absolute TCA bubbler
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE est un four de diffusion avancé et un ensemble d'accessoires conçus pour offrir des performances de fabrication supérieures. Cet équipement se compose d'un corps de four, d'une pompe à soufflet pour le contrôle du vide, d'une chambre de serrure pour le traitement des substrats et d'une variété d'autres fonctions automatisées. TEL ALPHA-8SE est conçu pour des applications avancées de traitement thermique telles que la fabrication de semi-conducteurs, de MEMS et de dispositifs optoélectroniques. Le four TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE dispose d'une homogénéité de température élevée et d'une excellente précision de température, permettant un temps de traitement précis et un contrôle supérieur des profils de température. Le contrôle de la température est réalisable en utilisant un système de contrôle de la température qui combine un mécanisme de contrôle de la température de séparation et une unité de contrôle de la température de rampe. Ceci garantit un haut degré de précision dans toutes les plages de température. Le corps de four TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE est constitué d'une machine de chauffage multi-zones embarquée qui permet de chauffer des substrats dans différentes zones subdivisées en unités de refroidissement et de chauffage uniformes. Il en résulte un contrôle de la température plus uniforme même lorsque la taille et la forme du substrat changent en raison de la différence de température élevée. Les fours intérieurs sont en acier inoxydable résistant à haute température et en alliage de titane, assurant la durabilité dans les environnements à haute température. Pour assurer un environnement de processus sûr et uniforme, TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE est équipé d'une gamme de fonctions automatiques exclusives telles qu'un moniteur de conductivité thermique et un contrôle actif des polluants. Le moniteur de conductivité thermique permet d'assurer une température uniforme du substrat en régulant la température des parois interne et externe de la chambre du four si nécessaire. L'outil de contrôle actif des polluants maintient la propreté et de faibles niveaux de particules produites par le procédé dans la chambre de traitement, assurant ainsi des conditions de processus sûres et stables. En plus de ces fonctionnalités automatisées, TEL ALPHA 8 SE offre une variété d'options d'accès utiles. Ces articles comprennent des dispositifs de manutention d'outils et des systèmes de transfert de plaquettes, qui aident tous deux à rationaliser la manutention des substrats. TOKYO ELECTRON Alpha 8SE comprend également un actif d'analyse/filtrage des particules pour la collecte et l'analyse des particules de processus, permettant aux opérateurs de maintenir un contrôle précis des processus. Dans l'ensemble, ALPHA-8 SE est un four de diffusion et d'accessoire de pointe qui offre des performances de fabrication supérieures et des capacités d'automatisation de processus efficaces. Ce modèle est bien adapté à la fois à la fabrication traditionnelle de semi-conducteurs et aux procédés de fabrication progressive de membranes et de dispositifs optoélectroniques.
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