Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9047511 à vendre en France

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE
Vendu
ID: 9047511
AVAFGN Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE est un four de diffusion de pointe et ses accessoires associés utilisés dans le processus de fabrication de circuits intégrés semi-conducteurs. TEL ALPHA-8SE est un four de diffusion par lots monobloc dont la température maximale de traitement est de 1000 ° C et qui est doté d'un procédé CVD (Chemical Vapor Deposition) à faible intensité d'onde pour une homogénéité et des performances supérieures. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE est une chambre fermée en alliage cylindrique qui peut fonctionner selon trois modes distincts : oxydation thermique, nitridation thermique et dépôt chimique en phase vapeur (CVD). Chaque mode est contrôlé par un ensemble complet de paramètres incluant la pression du gaz, la température et les débits. TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE possède une caractéristique unique appelée Dual Angle-Cycle Process Control qui permet à l'utilisateur d'échanger entre différents angles tout au long du cycle de processus, permettant des performances de couches sur plaquettes plus uniformes. ALPHA-8SE utilise à la fois un suscepteur de molybdène à basse température et un suscepteur de quartz à haute température. Le suscepteur en molybdène est utilisé pour de courts cycles de processus et est conçu pour une excellente uniformité et une faible distorsion de fond. Le suscepteur à quartz haute température est utilisé pour de longs cycles de processus et peut accueillir en toute sécurité des températures allant jusqu'à 1000 ° C ALPHA-8 SE est équipé d'un certain nombre de dispositifs de sécurité, dont un système d'arrêt automatique pour prévenir la surchauffe, des capteurs d'humidité pour détecter la vapeur d'eau et des capteurs de pression pour détecter la faible pression du procédé. Il est également équipé de systèmes de filtrage et d'épuration des particules les plus modernes pour une meilleure protection de l'environnement. Pour garantir une performance et une fiabilité optimales, ALPHA 8 SE est équipé d'un système complet de régulateurs de température comprenant deux régulateurs de température de processus localisés, deux régulateurs de soufflante cryogéniques et deux régulateurs de vitesse de soufflante. Cela permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler indépendamment différentes zones du four. Le four est également équipé de deux lampes halogènes qui offrent une homogénéité supérieure et une excellente performance des particules. TEL ALPHA 8 SE est une solution complète pour les besoins de traitement des semi-conducteurs, offrant aux utilisateurs des performances, une fiabilité et une sécurité supérieures. Ses caractéristiques et accessoires uniques offrent aux utilisateurs un traitement thermique exceptionnel et des performances CVD, assurant une excellente performance et uniformité de l'appareil.
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