Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #93399 à vendre en France
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Vendu
ID: 93399
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Nitride LPCVD furnace, 8"
170 wafer slots
Tool Specific Information:
Heater Part No: VMM-40-101
Software Version: Ver3.11 R005 WAVE
System Power Rating: 110AC One Phase / 208 AC
Loading Configuration: 6 Loader
Main System:
WAVES Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
21 Cassette Stocker
Temperature Controller (M560)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility&Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
Auto Shutter
Gas System (NH3, DCS)
Options:
Signal Tower
Pitch Change Mechanism
UPS
GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control:
Quartz ware
Load size 170 wafers
Load lock purge system
Process gas: NH3, DCS
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - FUJIKIN
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - FUJIKIN
Filter - MILLIPORE
Regulator - VERIFLO
MFC - AERA
Pressure transducer - MILLIPORE or NAGANO
Remote Components:
Utility Box Power Rating: 110/208AC
Pump Power Rating: 208AC-3 (Not Included)
UPS Power Rating: 110AC-1
MFCs Summary
MFC_NB (N2) 10sLm
MFC_NR (Pure-N2) 50sccm
MFC_NX (Pure-N2) 20sLm
MFC_NY1 (Pure-N2) 200sccm
MFC_NY2 (Pure-N2) 200sccm
MFC_N1 (Pure-N2) 5sLm
MFC_N2 (Pure-N2) 5sLm
MFC_M1 (NH3) 2sLm
MFC_D1 (SiH2Cl2) 200sccm
MFM_M1 (Pure-N2) 2sLm
MFM_D1 (Pure-N2) 200sccm
Packing List:
Power-Box
UPS
Main-Body
Gas-Box
Heater
O2 Analyzer
Vacuum Exhaust Pipe
Cables
Top Heater Frame
Filter Fan
Gas-Box Door
EXT IN Unit
Gas-Box Exhaust Support
Backend Pipings
Scavenger Flexible Duct
Accessories 2 white boxes + 1 wafer container
N2-LL Pipings Tray
(Qty 3) Cable Trays
Loading Area Cover
Backend Support/ Cover
(Qty 5) Heater Panels
Main-Valve
Crated in a warehouse
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE diffusion four et accessoires est un équipement de chauffage de qualité industrielle et un emballage accessoire spécialement conçu pour les laboratoires de semi-conducteurs. Ce four de diffusion et ses composants offrent une solution abordable et fiable pour le traitement des semi-conducteurs à haute température, y compris l'élimination des dopants, le recuit et le dépôt de substrat. Le système TEL ALPHA-8SE est équipé d'une chambre de serrure de 8 pouces, permettant un chargement rapide et régulier avant et après le processus du four. Il est également équipé d'un support quartzware, d'un support loadware et d'un chargeur substrat pour un maximum de commodité. Le ventilateur de refroidissement intégré aide à maintenir une température constante, assurant des performances fiables et cohérentes de processus en processus. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE peut traiter des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre, ce qui le rend parfait pour les laboratoires semi-conducteurs de toutes tailles. Le régulateur de température actif intégré en boucle fermée assure précision, flexibilité et répétabilité. L'unité dispose également d'un logiciel contrôlé par menu qui simplifie la programmation et assure des résultats cohérents. Le four de diffusion TEL ALPHA 8S-E et ses accessoires sont faits de matériaux de haute qualité, assurant la compatibilité avec une variété de matériaux semi-conducteurs et de procédés de dépôt. Les modèles de silicium, d'arséniure de gallium et de diamant peuvent tous être traités dans la machine. Sa construction et sa conception robustes le rendent également robuste et fiable dans les environnements de laboratoire les plus difficiles. Dans tout laboratoire de semi-conducteurs, une qualité constante est essentielle pour obtenir des résultats fiables. Avec le four de diffusion TEL Alpha 8SE et ses accessoires, les utilisateurs peuvent obtenir des résultats impressionnants et reproductibles, tant en termes de qualité que de capacité de débit. Il offre une solution simple et simple pour répondre aux exigences rigoureuses de traitement des semi-conducteurs.
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