Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #93399 à vendre en France

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ID: 93399
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 2004
Nitride LPCVD furnace, 8" 170 wafer slots Tool Specific Information: Heater Part No: VMM-40-101 Software Version: Ver3.11 R005 WAVE System Power Rating: 110AC One Phase / 208 AC Loading Configuration: 6 Loader Main System: WAVES Controller Photohelic Gauge Boat Elevator Wafer Load Automation 21 Cassette Stocker Temperature Controller (M560) Furnace Monitor, Power Control Unit Remote Utility&Gas Cabinet Inner T/C for Ration Mix Auto Shutter Gas System (NH3, DCS) Options: Signal Tower Pitch Change Mechanism UPS GEM Communication N2 Load Lock Ambient Control: Quartz ware Load size 170 wafers Load lock purge system Process gas: NH3, DCS Gas Type - Convention Gas System Tubing material - Stainless steel Tubing Finish - Electro-polish Manual valve - FUJIKIN Fitting Type - VCR/UJR Air-Operated valve - FUJIKIN Filter - MILLIPORE Regulator - VERIFLO MFC - AERA Pressure transducer - MILLIPORE or NAGANO Remote Components: Utility Box Power Rating: 110/208AC Pump Power Rating: 208AC-3 (Not Included) UPS Power Rating: 110AC-1 MFCs Summary MFC_NB (N2) 10sLm MFC_NR (Pure-N2) 50sccm MFC_NX (Pure-N2) 20sLm MFC_NY1 (Pure-N2) 200sccm MFC_NY2 (Pure-N2) 200sccm MFC_N1 (Pure-N2) 5sLm MFC_N2 (Pure-N2) 5sLm MFC_M1 (NH3) 2sLm MFC_D1 (SiH2Cl2) 200sccm MFM_M1 (Pure-N2) 2sLm MFM_D1 (Pure-N2) 200sccm Packing List: Power-Box UPS Main-Body Gas-Box Heater O2 Analyzer Vacuum Exhaust Pipe Cables Top Heater Frame Filter Fan Gas-Box Door EXT IN Unit Gas-Box Exhaust Support Backend Pipings Scavenger Flexible Duct Accessories 2 white boxes + 1 wafer container N2-LL Pipings Tray (Qty 3) Cable Trays Loading Area Cover Backend Support/ Cover (Qty 5) Heater Panels Main-Valve Crated in a warehouse 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE diffusion four et accessoires est un équipement de chauffage de qualité industrielle et un emballage accessoire spécialement conçu pour les laboratoires de semi-conducteurs. Ce four de diffusion et ses composants offrent une solution abordable et fiable pour le traitement des semi-conducteurs à haute température, y compris l'élimination des dopants, le recuit et le dépôt de substrat. Le système TEL ALPHA-8SE est équipé d'une chambre de serrure de 8 pouces, permettant un chargement rapide et régulier avant et après le processus du four. Il est également équipé d'un support quartzware, d'un support loadware et d'un chargeur substrat pour un maximum de commodité. Le ventilateur de refroidissement intégré aide à maintenir une température constante, assurant des performances fiables et cohérentes de processus en processus. TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE peut traiter des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre, ce qui le rend parfait pour les laboratoires semi-conducteurs de toutes tailles. Le régulateur de température actif intégré en boucle fermée assure précision, flexibilité et répétabilité. L'unité dispose également d'un logiciel contrôlé par menu qui simplifie la programmation et assure des résultats cohérents. Le four de diffusion TEL ALPHA 8S-E et ses accessoires sont faits de matériaux de haute qualité, assurant la compatibilité avec une variété de matériaux semi-conducteurs et de procédés de dépôt. Les modèles de silicium, d'arséniure de gallium et de diamant peuvent tous être traités dans la machine. Sa construction et sa conception robustes le rendent également robuste et fiable dans les environnements de laboratoire les plus difficiles. Dans tout laboratoire de semi-conducteurs, une qualité constante est essentielle pour obtenir des résultats fiables. Avec le four de diffusion TEL Alpha 8SE et ses accessoires, les utilisateurs peuvent obtenir des résultats impressionnants et reproductibles, tant en termes de qualité que de capacité de débit. Il offre une solution simple et simple pour répondre aux exigences rigoureuses de traitement des semi-conducteurs.
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