Occasion TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615 #173224 à vendre en France

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TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615
Vendu
ID: 173224
Taille de la plaquette: 6"
VCF LP PoCl3 Vertical Furnaces, 6" Ebara 150x40 Pumps, Delivery system.
TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615 est un four à diffusion verticale qui est utilisé pour de nombreux types de circuits intégrés dont le silicium épitaxié et les semi-conducteurs composés. Il est conçu pour offrir un maximum d'efficacité et de flexibilité afin d'obtenir des performances de traitement thermique optimales. TEL VDF 615 est conçu avec des technologies de pointe telles qu'un four intégré de base et des contrôles de processus avancés. Le four fournit des profils de température plus précis et répétables qui permettent des traitements thermiques fiables avec une consommation d'énergie plus faible. Le four intégré de base élimine la nécessité d'un module de chauffage externe le rendant plus compact et plus économique. Il rend également le transfert de plaquettes plus efficace. Les contrôles de processus avancés fournissent un contrôle de processus plus précis et une répétabilité améliorée conduisant à des rendements plus élevés. TOKYO ELECTRON VDF 615 dispose également d'un chauffage haute performance avec des éléments de séparation métalliques fiables qui fournissent un processus de chauffage plus uniforme et stable. Il existe également un mode spécial d'oxydation pour contrôler la température avec précision pour les matériaux oxydants. De plus, le four comprend une variété d'autres caractéristiques, y compris l'orage chaud et froid, le dégazage et le contrôle de l'atmosphère d'azote pour contrôler l'atmosphère pendant les épi-processus. VDF 615 comprend également une suite d'accessoires sophistiqués qui améliorent l'expérience utilisateur. Ces accessoires comprennent des systèmes de polissage et de nettoyage des plaquettes, des systèmes d'exposition et de démontage des plaquettes, des systèmes de support des plaquettes ainsi que des systèmes de contrôle de zone pour améliorer le rendement, en permettant un contrôle de température plus flexible à travers les différentes étapes du processus. TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615 est une excellente solution pour tout processus semi-conducteur où une température élevée et des performances thermiques uniformes sont requises. Ses technologies de pointe et ses accessoires polyvalents en font l'un des meilleurs fours de diffusion disponibles. Sa conception compacte et économique offre une flexibilité dans l'optimisation des processus permettant aux fabricants et aux intégrateurs d'obtenir les meilleurs rendements et performances de leurs circuits intégrés.
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