Occasion TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #168017 à vendre en France

TEL VFD 615S est un four de diffusion et des accessoires conçus pour répondre aux besoins des applications de recherche et de fabrication. Il s'agit d'un four vertical à bande continue refroidi par air avec une zone de chaleur à vitesse variable, supérieure et inférieure, qui assure une répartition uniforme de la zone de chaleur. Les zones thermiques supérieure et inférieure sont réglables indépendamment et la fonction oxydante catalytique permet un contrôle précis de la température. Cela permet un contrôle précis de la température et d'autres paramètres de processus. Le VFD615S dispose d'une chambre en acier inoxydable avec un volume de 5,4 litres, deux bandes horizontales d'étanchéité pour l'étanchéité de la chambre, et deux sections de zone de chaleur supérieure et inférieure pour permettre un contrôle précis de la zone de chaleur. Il dispose également d'une zone de chauffage intégrée du substrat en verre sérigraphié et de zones d'oxydation robustes du catalyseur, assurant une répartition uniforme de la température. TOKYO ELECTRON VFD 615S est également livré avec un contrôleur logique programmable (PLC) qui offre une flexibilité et une régulation précise des paramètres de croissance. Il est équipé d'un système d'acquisition de données (DAS) avec étalonnage en un point qui permet un contrôle précis de la répartition uniforme de la température. Le lecteur à fréquence variable permet un contrôle précis de la vitesse pour optimiser la répétabilité du processus et les temps de cycle. Le VFD615S est conçu pour la surveillance de processus qui permet d'activer ou de désactiver le fonctionnement de la zone thermique. Il offre un contrôle précis de la température, du débit de gaz, de la croissance et de l'élimination des cellules avec deux bandes d'étanchéité horizontales indépendantes, fonctionnant alternativement et bidirectionnelles, qui offrent une flexibilité dans les applications de fabrication. Le système intégré de transfert de substrat en verre et le système d'alignement de superposition (OEA) le rendent parfait pour obtenir un alignement précis du substrat et un contrôle serré des effets thermiques. De plus, le VFD615S est équipé d'une architecture ouverte permettant de contrôler jusqu'à quatre conduites d'alimentation en gaz. La chambre isolée et l'intérieur refroidi par ventilateur minimisent la consommation d'énergie, minimisent les émissions de dioxyde de carbone et contribuent à réduire les coûts d'exploitation. Enfin, il offre une intégration dans des lignes de production automatisées avec sa porte d'accès compatible et ses systèmes de surveillance avancés.