Occasion TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #176607 à vendre en France

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TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S
Vendu
ID: 176607
Diffusion furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615S est un four de diffusion et des accessoires conçus pour la réalisation de dispositifs de circuits intégrés très fiables. Cet équipement de pointe est capable de réaliser une oxydation thermique rapide et un traitement efficace. Le four offre une excellente uniformité thermique, des gradients de température minimes et une réponse très rapide aux changements de température. TEL VDF 615S est une chambre de traitement thermique verticale avancée qui dispose de cinq appareils de chauffage fixes distincts, ainsi que d'un système de couvercle amovible en option. Les chauffages utilisent un plasma à couplage inductif (PIC) comme source de chauffage, et par conséquent, un contrôle de température fiable et précis peut être mis en œuvre. De plus, la chambre ICP étant conçue pour fournir un rayonnement dirigé, la température de la plaquette peut être contrôlée avec précision lors de l'oxydation de la couche de silicium polycristallin, processus qui se produit lorsque la plaquette est exposée à des températures élevées. Le four est conçu avec une barrière thermique ultra fine et très uniforme qui permet une répartition uniforme de la température sur l'ensemble de la plaquette. Il en résulte un processus de diffusion thermique très efficace et même un chauffage de l'ensemble de la plaquette, qui peut être ajusté en fonction du résultat souhaité. Il en résulte une température très homogène à travers la plaquette, assurant des gradients de température minimaux et un niveau de fiabilité global élevé. Les autres caractéristiques de TOKYO ELECTRON VDF 615S comprennent un contrôleur à l'état solide, un écran tactile, une construction en acier inoxydable double couche qui aide à minimiser la consommation d'énergie, un arbre refroidi par eau et un système de surveillance et de contrôle. Le système d'alimentation en air a également été adapté au nouveau SS-C-V-1, qui permet de réagir rapidement aux changements de température et est certifié sans gaz dangereux. Le VDF 615S fait partie de la ligne de four de diffusion TEL depuis le début des années 1990 et a été largement adopté comme norme industrielle pour la production d'IC fiables. Il est conçu pour dépasser toutes les exigences d'uniformité de température et minimiser les gradients de température pendant le traitement. Avec sa technologie de pointe, il fournit des performances fiables, rapides et efficaces pour la production d'IC.
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