Occasion THERMCO 4100 #9046507 à vendre en France

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ID: 9046507
Taille de la plaquette: 6"
Furnace system, 6" 4-Stack Can be converted to 3-stack, 8" Can be configured to atmospheric or LPCVD.
THERMCO 4100 est un équipement de four de diffusion et d'accessoires conçu pour des applications de recuit dans l'industrie des semi-conducteurs. C'est un système de recuit très efficace et fiable qui utilise une atmosphère de diffusion brevetée et un contrôle thermique précis pour produire des résultats supérieurs. 4100 est une unité de recuit de contrôle de l'atmosphère capable de traiter des plaquettes dopées et non dopées jusqu'à 150mm de diamètre. Cette machine est idéale pour un traitement efficace des plaquettes de silicium sur une grande variété de températures allant de 400 ° C à 900 ° C Il dispose d'une fenêtre de processus complète, y compris le recuit thermique rapide, le recuit d'implantation ionique, le recuit de diffusion de blanchets, le recuit plasmatique gênant et le recuit à vide élevé. THERMCO 4100 dispose d'un outil automatisé de contrôle de l'atmosphère qui surveille continuellement l'environnement de la chambre, permettant un contrôle précis de l'atmosphère. Ce contrôle atmosphérique assure la composition, la pureté et la pression appropriées à l'intérieur de la chambre de recuit. Ce contrôle rapide, mais précis, de la température est essentiel pour des résultats de recuit contrôlés et reproductibles. 4100 dispose également d'une chambre « Load-Lock » qui assure un chargement et un déchargement efficaces des plaquettes sans avoir besoin d'évacuer ou d'ouvrir la chambre de recuit. Ce procédé empêche tout contaminant d'entrer dans la chambre, assurant ainsi l'intégrité des résultats du procédé. THERMCO 4100 comprend également un atout de régulation de température et de pression très précis et fiable. Cela comprend un régulateur de température PID pour un contrôle de température serré et un régulateur de pression pour une pressurisation précise du point final. Il dispose également d'un moniteur à quartz intégré qui permet de mesurer la température des plaquettes en temps réel et d'assurer une performance thermique optimale. Globalement, 4100 est un modèle de recuit idéal pour l'industrie des semi-conducteurs grâce à son contrôle thermique précis et son traitement efficace des plaquettes. Sa conception modulaire permet une intégration facile avec tout autre outil de processus compatible. Il offre un contrôle supérieur de la température, l'uniformité des processus et la répétabilité grâce à son contrôleur de programmation convivial. Le contrôle automatisé de l'atmosphère et l'équipement Load-Lock garantissent un environnement de traitement propre et cohérent. THERMCO 4100 est la solution idéale pour obtenir des résultats de recuit anexacts et répétables.
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