Occasion AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9254126 à vendre en France

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 est un module avancé de procédé de gravure/cendres conçu pour la production à grande vitesse dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Cet outil offre une vitesse de gravure rapide du silicium allant jusqu'à 120 Angströms par minute et des processus de cendres à basse température pour répondre aux exigences avancées en matière de fuites technologiques et de relaxation diélectrique. FUSION RapidStrip 320 offre un certain nombre de fonctionnalités, telles que l'algorithme de contrôle des processus SmartStrip, qui garantit une excellente uniformité et répétabilité des gravures, ainsi qu'un module de production à haut débit pouvant atteindre 500 wafers par heure. Sa boîte à plasma à double polarité permet le traitement de tout type d'agent de gravure, tel que le fluorocarbure, le fluorosilane et les chimies du fluoroborane, assurant un maximum de temps d'utilisation et d'équipement. AXCELIS RapidStrip 320 utilise également un système de polissage chimique-mécanique (CMP) qui élimine la nécessité d'étapes manuelles de broyage, de polissage et de placage et assure une gravure et un cendrage de haute précision du substrat. Sa technique avancée de contrôle de gravure combine des facteurs tels que la puissance plasmatique, le débit et le type de matériaux de substrat avant de contrôler la vitesse de gravure. Cela garantit que toutes les étapes sont effectuées de façon précise, cohérente et avec un écart minimal. Ces caractéristiques sont associées à des contrôles de sécurité et environnementaux avancés, comme le concept de zone propre, qui réduit les émissions de composés organiques volatils (COV). Rapid Strip 320 utilise également un système de diagnostic plasma haute définition (PDQ) qui surveille en permanence la propreté du plasma et fournit des ajustements en temps réel pour assurer une contamination minimale des particules. Grâce à sa technologie de pointe et à son interface conviviale, AXCELIS/FUSION RapidStrip 320 est le système idéal pour une production efficace de substrats de haute complexité avec des normes opérationnelles exigeantes.