Occasion LAM RESEARCH 4520 #131594 à vendre en France

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Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
4520
ID: 131594
Etcher, autoloader.
LAM RESEARCH 4520 etcher/asher est un système de gravure/cendres polyvalent de haute performance conçu pour déposer et enlever des couches de matériau afin de créer des motifs très précis sur les plaquettes à double face et sur les plaquettes à simple face. Il est capable de graver et d'aspirer un large éventail de matériaux, tels que les métaux, les diélectriques, les polymères et les céramiques. 4520 se compose de plusieurs chambres de processus, dont un module de gravure/cendres, un contrôle de la source, une chambre de pré-nettoyage et une chambre de post-nettoyage. Le module gravure/cendres est équipé d'un faisceau de chimies réactives. Ce faisceau, qui est entraíné par une direction de faisceau motorisée, est dirigé vers le substrat sous de multiples angles et profondeurs. Ceci permet l'enlèvement contrôlé et précis des couches de la plaquette à des cadences de production élevées. Le module de contrôle de source est une chambre à distance réglable qui peut fournir un flux de mélanges gazeux de différentes combinaisons et concentrations au module gravure/cendres. Cela permet un contrôle détaillé du processus de gravure/cendres. La chambre de pré-nettoyage est utilisée pour éliminer tout résidu du substrat avant son entrée dans le module gravure/cendres. Cette chambre utilise une combinaison de procédés chimiques, à haute température et mécaniques pour s'assurer que la plaquette est propre avant le traitement. La chambre post-nettoyage est également utilisée pour éliminer les résidus laissés dans le module gravure/cendres. Cette chambre piège utilise une série de filtres pour s'assurer que toutes les particules ou résidus laissés dans le module gravure/cendres sont éliminés avant la sortie de la plaquette. LAM RESEARCH 4520 est un système de gravure/cendres adaptable, précis et fiable. Il dispose d'une direction de faisceau puissante et d'un contrôle multidirectionnel et en profondeur précis du faisceau. Ses multiples chambres de procédés permettent un contrôle précis des produits chimiques utilisés ainsi qu'un pré et post-traitement propre. Cela fait de 4520 un système de gravure/cendres très efficace et précis.
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