Occasion LAM RESEARCH 9600CFE #9396017 à vendre en France

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Fabricant
LAM RESEARCH
Modèle
9600CFE
ID: 9396017
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 2001
Etcher, 6"-8" (2) Chambers: Metal etch Resist removal CE Marked 2001 vintage.
LAM RESEARCH 9600CFE est un équipement de gravure/asher qui offre des capacités de gravure et d'imagerie de haute précision (5µm) pour permettre la conception des appareils les plus complexes. LAM RESEARCH 9600 CFE offre une gravure plasma humide ou sèche avec son débit de gaz configurable, permettant un contrôle et une précision maximum du processus. 9600CFE est entièrement compatible avec tous les grands systèmes de vide et les outils de métrologie. 9600 CFE est conçu pour une gravure précise à haute résolution avec de faibles facteurs de déflexion. Ce système peut être utilisé pour une variété de défis de processus, y compris la gravure de contacts profonds, l'isolation de tranchées peu profondes, l'établissement de caractéristiques à l'échelle nanométrique, l'établissement de lignes fines et la gravure précise des structures 3D. Il dispose d'une configuration de chambre modulaire qui permet des applications de gravure à chambre unique ou multiple pour une efficacité accrue. LAM RESEARCH 9600CFE est également livré avec un générateur RF intégré pour les rejets plasmatiques à faible champ, offrant un contrôle accru des processus. LAM RESEARCH 9600 Les systèmes d'automatisation et de contrôle avancés de CFE garantissent une productivité et une précision élevées. Il dispose d'un port de transfert de plaquettes robotisées multi-stations pour le chargement et le déchargement rapides, ainsi que de dispositifs de sécurité étendus pour les opérateurs. Il a également intégré des diagnostics pour surveiller en permanence et maximiser l'efficacité. 9600CFE offre un logiciel complet qui permet un contrôle prédictif très optimisé des processus. Ce programme est entièrement compatible avec Windows, permettant aux clients de contrôler facilement l'unité et de suivre les progrès. Le logiciel convivial simplifie le processus de contrôle des paramètres de gravure et offre la possibilité de sauvegarder, récupérer et éditer des programmes. 9600 CFE est une machine aher/etcher hautement fiable et reproductible qui est parfaite pour les applications d'ingénierie d'appareils de pointe. Sa faible empreinte et sa conception ergonomique en font un cadre idéal pour une variété de contextes, y compris des laboratoires de recherche et développement, des fabs industriels, des installations de semi-conducteurs et des universités. Avec sa configuration flexible, son automatisation avancée et son contrôle prédictif des processus, LAM RESEARCH 9600CFE est un excellent choix pour la précision et la fiabilité des gravures.
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