Occasion LAM RESEARCH Exelan A6 #9093942 à vendre en France

LAM RESEARCH Exelan A6 est un équipement avancé de graveur/asher conçu pour les processus de gravure et ashing. Il est construit avec une architecture de conception modulaire puissante qui permet une haute performance et un fonctionnement efficace dans des environnements de production exigeants. Exelan A6 utilise une technologie de gravure et de cendrage précise pour créer les structures de substrat les plus précises. Le système est composé d'une grande unité de turbo-PECVD (dépôt chimique en phase vapeur amélioré par plasma) qui est dotée d'une chambre de plasma à basse pression et d'un convoyeur à grande vitesse. Cette machine dispose d'une distribution de gaz à grande vitesse qui permet des débits de processus plus élevés et précisément contrôlés. RECHERCHE LAM La chambre à plasma, le générateur RF et le contrôleur d'Exelan A6 sont conçus pour obtenir un processus de gravure et d'ashing très efficace. Le volume de la chambre est suffisamment grand pour accueillir de grandes tailles de substrat et de longs temps de processus, ce qui en fait un outil idéal pour une production à grande échelle. Exelan A6 supporte une automatisation avancée qui permet de contrôler précisément le débit de gaz, la pression, la température, la puissance RF et d'autres paramètres de processus. Le logiciel permet aux utilisateurs de configurer jusqu'à vingt recettes de processus indépendantes qui peuvent être sauvegardées et réutilisées pour le traitement futur. Ces fonctionnalités d'automatisation intégrées permettent de suivre les recettes du processus, de surveiller le processus et de diagnostiquer tout problème qui pourrait survenir pendant le traitement. Les systèmes intégrés de salle blanche et d'isolation permettent à LAM RESEARCH Exelan A6 de fonctionner dans des environnements propres. Avec ses fonctions de sécurité intégrées et ses diagnostics avancés, l'actif peut automatiquement s'arrêter en cas d'urgence et peut détecter et signaler tout problème tel que des pressions anormales, des températures excessives et des perturbations de puissance. Exelan A6 fournit une plate-forme fiable et efficace pour la production de processus de gravure et d'ashing, permettant l'intégration avec d'autres processus tels que la lithographie, le gaufrage, les processus sous vide et d'autres processus associés. En fin de compte, le modèle peut traiter rapidement et facilement des structures de micro et nanomatériaux pour diverses industries.