Occasion PLASMATHERM VLR 702-PM 770I-10R #9259208 à vendre en France
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Vendu
ID: 9259208
Style Vintage: 1999
Dry etcher
EBARA AA10N Dry pump
Pumping speed: 1300 l/min
TAITEC UC-70P Chiller
Gases: CF4, CHF3, CI2, BCI3, O2, N2
Diameter of lower electrode, 10"
EDWARDS STP-H803C Turbo pump
2CN-H803C Turbo controller
VLR 700 VAT Gate valve
Operating system: Windows NT Workstation 4.0
Power box
Cabinet
Power supply: 200 V, 50/60 Hz, 3 Phase
1999 vintage.
PLASMATHERM VLR 702-PM 770I-10R est un graveur/asher avancé conçu pour des performances optimales dans des applications industrielles à grande échelle. Il dispose d'un plateau collecteur de 10 "et d'un équipement de 7 chambres de travail, permettant un contrôle total sur les processus de gravure et de cueillette. Le VLR 702-PM possède une précision impressionnante de ± 0,5 µm, ce qui permet d'obtenir des résultats de gravure extrêmement précis. De plus, l'uniformité sur tout le plateau de travail est assurée avec une précision ± 1,0 µm. Le VLR 702-PM est équipé d'un contrôleur programmable avancé, offrant jusqu'à 16 magasins de mémoire avec neuf recettes pour divers travaux. De plus, ce contrôleur permet de configurer et de régler facilement les paramètres de gravure/ashing, y compris la puissance, le débit de gaz, la polarisation et d'autres paramètres spécifiques à la tâche. Tous les paramètres et résultats peuvent être contrôlés en temps réel via l'interface utilisateur graphique du VLR 702-PM. En plus de ces fonctionnalités, le VLR 702-PM dispose d'un système de sécurité sophistiqué conçu pour protéger l'utilisateur et la machine contre les dommages. Cela comprend un mécanisme de verrouillage du couvercle, un verrouillage sans clé et un bouton d'arrêt d'urgence, permettant une sécurité maximale dans tous les travaux de gravure/cueillette. Les logiciels et le matériel sont optimisés pour offrir une qualité et des performances de gravure et de cendrage maximales. Le VLR 702-PM est équipé d'un moteur haute performance et d'un ensemble de buses en acier inoxydable forgées avec précision qui assurent une distribution de plasma uniforme dans la zone à faible entrefer. Le modulateur piézo de haute précision commandé par ordinateur et le filtre à gaz réglable garantissent l'absence de contaminants dans le processus de cueillette. Pour une commodité maximale, le VLR 702-PM dispose d'une unité d'échappement intégrée qui recueille et extrait les gaz de gravure/ashing libérés tout au long du processus. Cela empêche l'accumulation de matières dangereuses, favorisant la sécurité des utilisateurs et les performances globales des unités. Globalement, VLR 702-PM 770I-10R est un graveur/asher avancé offrant une qualité et des performances supérieures pour les applications industrielles de gravure et ashing. Cette machine offre une excellente précision, une sécurité exceptionnelle et une commodité d'utilisation supérieure, garantissant que les travaux de gravure/cueillette sont effectués rapidement et précisément.
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