Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Formula-HV #9190560 à vendre en France
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TEL/TOKYO ELECTRON Formula-HV est un appareil de gravure haute performance et haute productivité conçu pour répondre aux exigences les plus rigoureuses dans les processus, y compris la gravure semi-isotrope, la gravure anisotrope, la gravure de la goutte d'eau à ultra-angle et la gravure des piliers en cuivre (Cu). Il s'agit d'un graveur à plasma parallèle monobloc (ou « asher ») avec une gamme de capacités qui permet d'améliorer le débit et les modules de processus étendus - des travaux de gravure standard aux processus plus avancés. TEL Formula-HV utilise des technologies de procédé innovantes et efficaces pour obtenir des profils de gravure de haute qualité, stables et reproductibles. Les fonctions de contrôle avancées du système fournissent une gravure complexe et de haute précision pour répondre aux exigences des processus de gravure très grands et extrêmement profonds. L'uniformité de la gravure obtenue avec TOKYO ELECTRON Formula-HV est parmi les meilleures de l'industrie. Formula-HV est équipé de multiples sources RF, permettant d'adapter le processus de gravure à l'application spécifique. Cela permet un degré de flexibilité qui offre une gamme beaucoup plus large de possibilités de gravure que les systèmes de gravure traditionnels. L'unité fournit également une large gamme de paramètres de réglage, permettant à l'utilisateur d'ajuster les plasmas, les ions et les sources d'énergie des électrodes pour les meilleurs résultats. L'automatisation sophistiquée de TEL/TOKYO ELECTRON Formula-HV élimine l'intervention de l'opérateur humain pour des applications critiques. Il permet un contrôle de processus sans contact, répétable et précis pour la gravure des profondeurs et des profils de caractéristiques. La machine dispose également d'un outil de diagnostic et de maintenance amélioré, permettant aux utilisateurs de dépanner et de maintenir l'actif rapidement et facilement. TEL Formula-HV est également livré avec une gamme complète d'outils logiciels pour l'acquisition et l'analyse de données, ainsi que pour le développement de recettes et l'optimisation des processus. Il est compatible avec plusieurs masques de gravure, y compris le masque de champ lumineux (utilisé pour les gravures peu profondes) et le masque de champ sombre (pour les gravures plus profondes). Le cendrier fournit également plusieurs boucliers offerts, permettant aux utilisateurs de personnaliser le modèle pour leur application particulière. TOKYO ELECTRON Formula-HV est un graveur avancé, performant et fiable qui offre une gravure précise et stable pour les applications les plus exigeantes. Ses commandes avancées, sa large gamme de paramètres de réglage et sa flexibilité offrent aux utilisateurs une grande variété de possibilités de gravure. Son automatisation sophistiquée et sa suite logicielle complète permettent aux utilisateurs de développer et d'optimiser leurs processus rapidement et facilement.
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