Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293622284 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un graveur/asher polyvalent utilisé dans la fabrication de semi-conducteurs. Il s'agit d'un graveur/asher à plasma à couplage inductif (ICP) qui utilise un équipement de pointe de perforation sans fenêtre pour obtenir des résultats de gravure et de cendrage de haute précision et de haute qualité. TEL Indy-I-L dispose d'une alimentation puissante, mais stable à haute fréquence qui fournit une quantité précise de puissance à la surface de gravure avec une répétabilité supérieure. Ce contrôle de la puissance de précision permet la gravure de matériaux difficiles à traiter tels que le silicium polycristallin à basse température et le cobalt. L'unité dispose également d'un système de contrôle atmosphérique avancé capable de maintenir une pression normale et stable dans la chambre de réaction. La chambre est équipée à la fois d'un transducteur de pression et d'un régulateur de pression, permettant un contrôle de pression précis. TOKYO ELECTRON Indy-I-L est également équipé des technologies exclusives TEL RIE SPRON-H, qui a été développé pour fournir les vitesses de gravure et l'uniformité de processus les plus élevées possibles. Cette technologie exclusive a amélioré le taux de gravure jusqu'à 40 %, permettant des temps de cycle plus courts et des niveaux de répétabilité plus élevés. Le processus de gravure sur Indy-I-L est encore optimisé par l'unité avancée de gestion automatisée des recettes de l'unité. En fournissant le temps de traitement précis et l'énergie par étape du cycle de gravure, la machine s'assure que les produits obtenus répondent à toutes les spécifications des fabricants. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est conçu pour une flexibilité maximale et la capacité de s'adapter à l'évolution des exigences de production. L'unité peut être configurée pour des charges de plaquettes simples et multiples, et le matériel dédié peut être changé rapidement et facilement pour accueillir des substrats de différentes tailles. TEL Indy-I-L est conçu pour fournir fiabilité et rentabilité aux fabricants de puces, ce qui en fait un outil précieux pour la fabrication de semi-conducteurs. Avec sa conception avancée et son outil de contrôle sophistiqué, l'unité est très fiable et capable de fournir des résultats de gravure et d'ashing cohérents et de haute précision.