Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293643279 à vendre en France
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ID: 293643279
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Furnace, 12"
Process: LT-NIT
Load lock system
KAWASAKI W/T Robot
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un graveur/asher développé par TEL, un fabricant japonais d'équipements de production de semi-conducteurs. Il est largement utilisé pour la gravure et le dépôt de matériaux magnétiques et semi-conducteurs composés pour diverses applications. TEL Indy-I-L est équipé d'une large gamme de fonctions pour la gravure uniforme et le dépôt de grandes plaquettes jusqu'à 300mm. TOKYO ELECTRON Indy-I-L utilise une technologie innovante pour faciliter un traitement efficace, stable et uniforme. Il est équipé d'une technologie de pointe, y compris une source d'énergie RF (radiofréquence) à température variable et un contrôle des interférences laser, afin d'assurer une gravure et un dépôt uniformes, ainsi qu'un contrôle optique et topographique pour assurer des résultats répétables et stables. De plus, ses fonctions de contrôleur intelligent permettent un contrôle personnalisable et automatisé des processus de gravure et de dépôt. Indy-I-L a une grande capacité de chambre de 1,200L et est conçu pour fournir une large gamme de gravure/dépôt. Il est capable de traiter une température allant jusqu'à 900 ° C avec une source d'énergie 50mA/m 2 RF, et une tension de polarisation jusqu'à 2.5kV DC (courant continu). TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L peut graver et déposer un grand nombre de matériaux, y compris des intosilicates de terres rares et d'ions lourds, du silicium, du titane, de l'aluminium et d'autres métaux, ainsi que des semi-conducteurs composés comme l'arséniure de gallium, l'indium-phosphure et le nitrure d'aluminium. TEL Indy-I-L dispose également d'une vitesse de gravure de 45 μm/min leader dans l'industrie, ainsi que d'une vitesse de dépôt facilement réglable pouvant atteindre 20nm/min. En outre, il est capable d'une productivité élevée avec plusieurs grappes de plaquettes pouvant atteindre 40 plaquettes. TOKYO ELECTRON Indy-I-L peut être utilisé pour diverses applications de gravure et de dépôt, allant des applications semi-conductrices spécialisées à la production d'électronique grand public au quotidien. Indy-I-L est convivial et conçu pour un fonctionnement efficace. Son interface utilisateur intuitive et ses fonctions simples de contrôle de gravure/dépôt offrent une configuration facile et un contrôle précis des processus, tandis que sa fonction d'arrêt automatique contribue à réduire les coûts et à améliorer la fiabilité du processus de gravure/dépôt. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un graveur/asher puissant et polyvalent, conçu pour fournir une gravure/dépôt efficace, stable et uniforme d'un large éventail de matériaux pour diverses applications. C'est l'ajout parfait à toute installation de fabrication de semi-conducteurs.
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