Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy IRAD #293585847 à vendre en France

ID: 293585847
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Vertical LPCVD Furnace, 12" Wafer production equipment Process: MLD Nitride CIM: SECS-GEM KHI Handler system (2) FOUP Factory interfaces Operation system: Gas detector box Rapid Colling System (RCS) Power box 208 VAC UPS 2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD est un graveur/asher sophistiqué conçu pour des générations à haut volume de motifs lithographiques avancés. Sa précision et ses performances de gravure supérieures permettent des résultats fiables et reproductibles pour toutes sortes de circuits présents dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs d'aujourd'hui. TEL Indy IRAD est équipé d'un équipement robuste de livraison de gaz, fournissant une livraison efficace et précise des gravures, permettant une utilisation à haut rendement. Cela garantit un travail lithographique fiable et reproductible et augmente l'uniformité des processus. Le système peut être configuré pour accueillir un large éventail de matériaux de substrat, offrant aux utilisateurs la flexibilité de graver divers matériaux à la fois. Cette solution de gravure complète est capable de traiter des matériaux tels que le silicium et le germanium, ainsi que de nombreuses couches diélectriques et métalliques. TOKYO ELECTRON Indy IRAD dispose également d'une unité supérieure de gravure d'ions, basée sur un champ d'entraînement RF avec un réseau d'appariement directionnel. Le réseau permet un meilleur contrôle de l'uniformité des espèces de gravure et du contrôle de la passivation, tout en réduisant le risque de gravure des matériaux aux mauvais endroits. Pour garantir une performance et une fiabilité optimales, Indy IRAD est également équipé de capacités de diagnostic et de surveillance avancées. Ces outils permettent aux utilisateurs de surveiller les conditions de processus en permanence et d'ajuster avec précision les paramètres pour optimiser les résultats de gravure. En outre, le fonctionnement automatisé de TEL/TOKYO ELECTRON Indy IRAD facilite le fonctionnement et l'entretien de la machine, offrant aux utilisateurs des coûts de maintenance réduits. Cela permet de gagner du temps sur des tâches telles que le nettoyage et l'entretien préventif, ainsi que de permettre des processus de production par lots entièrement automatisés. En conséquence, TEL INDY IRAD est un choix idéal pour les entreprises à la recherche de solutions de gravure de haute précision.
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