Occasion TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II #9267385 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON ME-450II
ID: 9267385
Style Vintage: 1999
Dry etcher (3) Chambers 1999 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ME-450II est une machine graveur/asher conçue pour fournir des processus de gravure/cendres fiables dans les dispositifs semi-conducteurs. C'est une machine de pointe, équipée des dernières technologies. Il est capable de réaliser des processus à basse température, avec une grande précision et précision, et avec un débit élevé. La machine est équipée d'un équipement d'imagerie haute résolution, qui permet une imagerie de haute précision. Il fournit une rétroaction en temps réel, ce qui permet un ajustement rapide des paramètres. Il est capable de réaliser des procédés de gravure/cendres sur divers matériaux, tels que des diélectriques minces, du polyimide, du dioxyde de silicium et divers autres substrats. En outre, il supporte une large gamme de produits chimiques de procédé gravure/cendres. TEL ME-450II dispose d'une interface conviviale et nécessite une configuration et une maintenance minimales. Il est capable de travailler avec précision et constance, même avec des hauteurs et des topographies de surface changeantes, grâce à sa fonction d'auto-équilibre. La fonction auto-balance permet à l'utilisateur d'établir les paramètres de gravure pour chaque travail, en fonction du substrat, de la texture de surface, du type de matériau et de la hauteur. La machine dispose d'un système de contrôle des processus (SCP) intégré et bien validé qui assure la précision des processus de gravure/cendres. L'unité comprend une machine de contrôle de l'uniformité de gravure, un outil de contrôle de la température et des moyens de contrôle de la pression. Le SCP permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler les paramètres de chaque processus de gravure/cendre, en temps réel. Cela permet aux utilisateurs d'obtenir des résultats optimaux, à chaque fois. En outre, TOKYO ELECTRON ME-450II possède une technologie avancée de contrôle des processus plasmatiques, appelée technologie TEL-MPT (Multi-Path Tuning). Cette technologie combine l'utilisation de deux chemins de gravure indépendants, et utilise différents niveaux de pression, de température et de puissance RF pour chaque chemin. La technologie d'accord multi-chemins permet à l'utilisateur d'obtenir des résultats précis de gravure/cendres. ME-450II est une machine avancée de graveur/cendrier, combinant les dernières technologies pour permettre la plus grande précision et précision lors de la réalisation des processus de gravure/cendres. C'est un outil fiable pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et il est capable de réaliser un large éventail de processus de gravure/cendres, même avec des hauteurs et des topographies de surface changeantes.
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