Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM #9074890 à vendre en France
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Vendu
ID: 9074890
Dielectric etcher, 12"
Standard Specifications
Software Revision: Linux 5.75 Rev 001
Lot Stability Dummy SW: Software for running lot stability wafer
OEE WPH Software: Yes
GEM SEC Revision: TBD
Wafer Size: Diameter 300+/- 0.20mm(SEMI M1.15), Notch
Carrier: FOUP (Comply with SEMI E47.1 (25wafers))
Inter Face: 5 carrier stage (Continuous flow operation) with Semi compliant MENV and
FIMS assemblies
Online Connection: GEM / CIM GJG (Hardware Interface : Ethernet 100Base-Tx)
Interface A: Yes
Utility Box: Regulator: Air/AR2500(SMC), N2/SQ-420E(VERIFLO),
He/SQMICRO(VERIFLO)
Utility Box: Manual Valv: OGD20V-6RM-K / OGD10V-4RM-K (CKD)
Utility Box: Pressure Gauge: Bourdon Gauge
Loader Mod Corrosion Prevent: NO, without Corrosion Prevent
Load Lock Pressure Monitor: Pressure Switch: VSA100A (INFICON)
Load Lock Pressure Monitor: Pirani gauge: TTR211S LEYBOLD)
Load Lock Pressure Monitor: CM: 626A01TDE (MKS)
Maintenance Monitor: 2 (Flat Panel Display Touch Screen Type)
Water Leak Detector: 5 (LM;1, each PS;1)
Signal Tower: Red/Yellow/Green/Blue (Upper Left of Front x1 & Upper right section of
loader on maintenance side x1)
Data Back up: USB& MO
EMO: Front x3, Rear x6
Cable Length: One 15m and one 16m (Interconnection, RF cables)
Inter Locks: External (When the I/L signal is received from Factory, gas valves are closed)
Fittings: No brass fittings
Supporting Remote Units
Chiller: UBRPD5A-2T
Coolant: Lower:FC3283, Upper:FC40
Chiller Hose: BRINE HOSE 15/14M
Handy Maintenance Controller: LCD DISPLAY UT3-TLN21-A
RF Generator TOP: AGA-50B2
RF Matcher TOP: AMN-50B2
RF Generator Bottom: WGA-50E
Matching Controller: WMN-50H6(2MHZ/5KW)(PS3)
Pen Record Box: 2L80-00212-12
Loader Module: SELME2112ZS22-AD5
LOAD PORT: NO, Bolts-L type
DRIVE UNIT: SBX92102928
READER OPTICAL: ISS-1700-1TELCC
Carrier ID Reader: NO,V640series+V700-L22 (Omron)
APC: 12" (320MM)
Hardware Configuration
Proc Chbr 1,2,3,4: SCCM Oxide; Y203 Coating
Chamber hardware: FCC
Endpoint type: SE2000ii
ESC type: Ceramics ESCwith STD Vpp
Focus ring: 3.4mm
Thunderwall He Gas Inlet: Ceramic Thunderwall with Ceramic pusher pins
Polished focus ring: O
FC lower insulator: FC lower insulator w/quartz upper ring shield
Magnet Shield: O
Oring for Chbr Body-Depos: Armorcrystal, Chemraz SC657
CEL Body ASSY: Brine Control Mode
TMP: TMP-3403LMC-T4(VG300) (SHIMADZU)
TMP Back Pressure Monitor: 51A11TGA2BA003 (MKS)
Dry Pump: ESR80WN, KEG approved
Final Valve, Heater: Valve; AGD21V-6RM-GWL4 (CKD)
Filter: Filter; CEP-TM_HL-VR-03PB (Toshiba Ceramic)
APC: Pendulum Motion Dia., 320mm(VAT), R.T.~90deg
Pressure Monitor: C/M (Process Monitor) : 627BRETDD2P (MKS), 45deg, 30Pa
Pressure Monitor: C/M (Self Check) : 627B11TDC2P (MKS), 45deg, 1330Pa
Pressure Monitor: B.A. Gauge (CM Calibration) : BPG400 (INFICON), 2.0x10-5 ~ 0.1Pa
Pressure Monitor: N,41A13DGA2AA040 (MKS), no process impact
Pressure Monitor: Pressure Switch : 51A11TGA2BA010 (MKS), H2/fluoro gas
Gas Box Configuration:
Gas line 1- N2 1000 sccm-AERA FCD985CT-BF
Gas line 2- C4F8 200 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 3- Ar 2000 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 4- O2 50 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 5- CH2F2 30 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 6- CHF3 200 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 7- CF4 200 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 8- C4F8 50 sccms-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 9- C3F8 50 sccms-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 10- C4F6 50 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 11- O2 1000 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Gas line 12- Ar 500 sccm-AERA FC-D985CT-BF
Purge: N2 (Process Grade N2)
Filter: CNF1004USG4 (Nihon Pall)
Regulator: SQMICRO (VERIFLO)
Filter (N2): CNF1004USG4 (Nihon Pall)
Valve: Primary side(Utility-MFC):Mega mini (FUJIKIN)
Valve: Secondary side(MFC-PC):Mega one (FUJIKIN)
Piping: Dual Piping (for Gas leak containment, Gas box to Final valve & Exhaust through
Gas box)
Gas Leak Detection Port: 5 Ports (6.35mm, Swagelok L-type)
Final Pressure Switch: 51A (MKS)
Pressure Gauge: Bourdon Gauge (with inside finishing)
Pressure Gauge: Bourdon Gauge (with inside finishing) 0.4MPa
SP3 Gas Line Connection: No
GBROR: GBROR
Process Kit Configuration:
WINDOW, SHIELD DEPO (DRM2) QUARTZ (ES1D05-400022-14)
WINDOW DEPO SAF0.5(DRM2) SAPPHIRE (ES1D10-406499-11)
SHIELD, UPPER 300MM RING – Quartz (ES3D05-250025-11)
Insulator, ESC Enclosure (COC) – Quartz (ES3D05-300142-13)
Cover Ring, 360- L (M) – Quartz (ES3D05-300243-11)
RING, BTM SHIELD Y-AL, SE (ES3D10-100844-11)
PLATE,EXHAUST Y-AL, SE (ES3D10-100845-11)
SHUTTER, BTM TYPE Y-AL, SE (ES3D10-101152-13)
SHIELD,DEPO (ES3D10-101195-11)
Focus Rg, 360-302-COC (ES3D10-201448-13)
Insulator, lower T32-BI-NC (ES3D10-202405-13)
WINDOW,DEPO CLP/Y2O3-100P(N) (ES3D10-350344-12)
SCREW PIN LOCK, Cerazol: Ceramic (ES3D10-404011-11)
Si Upper Electrode (ES3D10-253020-11)
CEL ASSY (ES3D87-052656-11)
ESC ASSY (with ceramic pusher pins) (ES3D87-002056-13)
Damage/Missing Parts:
Non reported, please reconfirm at tool inspection
Currently installed.
TEL/TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM est une machine de revêtement et de gravure de montage de surface qui est utilisée dans la création de cartes de circuits imprimés complexes (PCB). Le dispositif comprend une bande transporteuse pour le transport des PCB et des composants, ainsi qu'un système de vision électronique pour un positionnement précis. La machine est capable d'appliquer à la fois de la photorésist en film sec et des résistances liquides en haute résolution, et avec plusieurs couches, permettant un câblage de surface de détail. Il peut également être utilisé pour le post-traitement de composants tels que des connecteurs traversants, masque de soudure, etc... TEL Telius SP 305 SCCM dispose d'une vitesse de traitement des plaquettes à grande vitesse allant jusqu'à 400 mm/s, avec contrôle en cours de processus pour un aveugle uniforme et/ou enterré via les performances. Il comprend également un contrôleur multi-zones pour un contrôle de gravure précis, permettant une gravure de haute précision et un fraisage de formes complexes. Le dispositif comprend également une gamme de fonctions spéciales telles que l'alignement de la vision, l'identification des trous et l'enlèvement des shorts. TOKYO ELECTRON Telius SP 305 SCCM est équipé du système TELBEANS basé sur PC en temps réel, permettant un contrôle facile de l'interface utilisateur. Il comprend également un système de pochoir universel pour faciliter le chargement et le déchargement des cartes de circuits gravées. Le dispositif est également compatible avec une variété de matériaux de photorésistance, y compris des photorésists à tonalité positive et négative et des résines liquides. La machine est conçue pour fonctionner en continu, et dispose d'une zone de chargement de substrat chauffé avec une conception de bord chaud optimisé pour un haut débit. Sa feuille de couverture marquable au laser protège la carte de circuit lors de la gravure, en économisant du temps et des matériaux. Avec son interface intuitive et facile à utiliser et sa multitude de fonctionnalités, Telius SP 305 SCCM est un excellent appareil pour la fabrication de circuits et de composants de haute qualité.
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