Occasion AXCELIS / FUSION M 200 PCU #9268836 à vendre en France

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ID: 9268836
Photo stabilizers.
AXCELIS/FUSION M 200 PCU est un équipement d'exposition avancé conçu pour l'écriture d'images masquées dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système offre une capacité d'écriture d'image rapide et fiable, un excellent contrôle du positionnement des bords et un débit supérieur. Grâce à son contrôle laser précis et à son excellente précision en largeur de ligne, FUSION M200PCU permet aux fabricants de puces semi-conductrices de répondre à leurs besoins de production. L'unité est conçue avec une empreinte compacte et une installation facile. La configuration optique se compose d'une source laser UV haute puissance et haute vitesse, d'une tête de balayage, d'une machine optique d'imagerie et d'un outil de déflexion du faisceau d'électrons haute résolution (EB). La tête de balayage utilise un atout de déviation double axe qui permet un contrôle très serré de la distribution du faisceau, ce qui permet d'obtenir des caractéristiques d'imagerie fiables, précises et reproductibles. AXCELIS M200 PCU fournit des plaques de tailles de champ changeables pour permettre des durées d'exposition variables et des tailles de substrat différentes. Il permet également l'intégration de caractéristiques particulières telles que la vitesse variable des étages, les champs d'imagerie uniformes et non uniformes et les tailles de champ d'imagerie flexibles. La source laser est conçue pour offrir des performances élevées avec une faible contamination et une faible consommation d'énergie. La source laser utilise un modèle avancé à ondes impulsionnelles modulées (PWM) qui garantit la fiabilité et la stabilité à long terme. La source laser intègre également une unité de refroidissement intégrée pour minimiser la dégradation thermique. L'équipement EB est conçu pour fournir une excellente répétabilité d'image et uniformité sur une longue période de temps. Il dispose d'une source d'électrons améliorée pour une plus grande puissance de faisceau d'électrons, et d'un déflecteur haute résolution et haute précision pour fournir un contrôle précis du placement de l'image, ce qui le rend bien adapté pour les applications de balisage des plaquettes. AXCELIS/FUSION M200 PCU est conçu pour offrir une flexibilité et des performances supérieures pour les applications d'imagerie de masques et de fabrication de plaquettes dans l'industrie des semi-conducteurs. Son contrôle laser précis, son système EB de haute précision et ses fonctionnalités de conception avancées en font un excellent choix pour répondre aux besoins du développement de processus de fabrication et de lithographie.
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