Occasion AXCELIS / FUSION Rapid 320 FC #9202024 à vendre en France

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ID: 9202024
Wafer curing system Currently warehoused.
AXCELIS/FUSION Rapid 320 FC est un équipement compact d'exposition haute performance conçu pour fournir d'excellentes performances dans les processus de photolithographie. Il est capable de fournir jusqu'à 32 degrés de couverture de champ (FC) et plus de 2,5µm de résolution pour obtenir des modèles plus précis sur la plaquette. Le système est bien adapté pour la production de microvia et d'autres applications courantes de photostencil sur des plaquettes jusqu'à 200mm de diamètre. FUSION Rapid 320 FC utilise une puissante lampe à mercure pour émettre un rayonnement ultraviolet (UV) d'une longueur d'onde de 365nm, ce qui est la gamme d'énergie idéale pour une utilisation dans les produits chimiques photorésistants. Il est également équipé de la technologie avancée de correction d'aberration chromatique (CAC), permettant l'utilisation d'ouvertures numériques (AN) plus élevées sur tout le champ tout en conservant une bonne précision de focalisation-position et des aberrations faibles. Le module de contrôle automatisé des processus d'AXCELIS Rapid 320 FC facilite la répétabilité à long terme avec des processus d'exposition rapides et contrôlés. Il offre également une stabilisation précise de la longueur d'onde qui est réglable en temps réel, en maintenant une dose d'exposition constante à l'intérieur de l'unité d'exposition. L'unité est équipée d'une machine intégrée de métrologie Coats qui mesure la position focale de la plaquette pendant le processus d'exposition. En outre, le Rapid 320 FC est conçu pour améliorer l'efficacité de la production. Sa conception compacte permet une intégration facile dans la disposition des salles blanches. Il est également conçu pour faciliter la maintenance de l'outil, ce qui accélère la réponse sur place et réduit les temps d'arrêt. En outre, AXCELIS/FUSION Rapid 320 FC offre une excellente précision d'exposition et répétabilité avec un temps de réponse et des largeurs d'impulsions très précis. Sa capacité de manutention des plaquettes est également remarquable car il est capable de supporter des plaquettes enduites jusqu'à 200mm de taille. En outre, l'actif est conçu pour réduire la résistance à la consommation grâce à sa haute résolution et son excellente répétabilité. Dans l'ensemble, FUSION Rapid 320 FC est un excellent modèle d'exposition qui offre de hautes performances, précision, flexibilité et efficacité accrue. Il est idéal pour une large gamme d'applications de photolithographie dans l'industrie de fabrication électronique.
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