Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV 6200A #9275794 à vendre en France

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ID: 9275794
Style Vintage: 1990
Medium current implanter Missing and broken parts CTI CRYOGENICS 8500 Compressor Cryo-Torr 8 Cryo pump Dry pumps: EDWARDS QDP80 EDWARDS QDP40 + QMB250 Power supply: 200-208 V, 50/60 Hz, 6.6 kV, 3 Phase Process gas: BF3, PH3, AsH3 Power supply: 208 V, 70 A, 3 Phase 1990 vintage.
EATON NOVA/AXCELIS NV 6200A est un équipement avancé d'implantation et de surveillance ionique développé par Eaton Corporation et fiable par les professionnels de l'industrie pour ses performances fiables, son haut débit et son contrôle précis. Le dispositif AXCELIS NV 6200A se compose d'une source constituée d'une source capable de RF, ainsi que de composants permettant la délivrance précise d'ions. Ceci permet une densité de courant élevée qui est facilement réalisable avec une dose, un courant et une énergie stables. En outre, la technique de balayage intégré, la technologie laser à diodes et le faisceau laser à impulsions (PLB) permettent à EATON NOVA NV-6200A d'offrir un contrôle précis des caractéristiques du faisceau, y compris la taille et la forme des taches. En outre, NV-6200A dispose d'un système breveté de contrôle numérique de faisceau (DBC), qui offre un courant de faisceau réglable, permettant aux opérateurs de peaufiner les exigences d'application finale. Ceci couplé à un progiciel de pointe favorise une utilisation ionique maximale, tout en minimisant les aberrations du faisceau d'ions. EATON NOVA NV 6200A obtient des résultats très cohérents et extrêmement précis avec une excellente reproductibilité sans avoir besoin de compétences spéciales. Après avoir chargé le pistolet avec des ions, l'unité est conçue pour l'automatisation complète du traitement des plaquettes et de la fixation des implants. Il peut être caractérisé comme un appareil rentable pour les fabricants ayant des besoins d'implantation haut de gamme. En outre, AXCELIS NV-6200A est convivial et offre une gamme de capacités de chambre et de contrôles environnementaux tels que le pompage à faible pollution et le contrôle de la température. En tant que telle, cette machine est bien adaptée pour implanter une grande variété de matériaux, tels que Si, GaAs, InAs, et même des matériaux biologiques. NV 6200A est un outil d'implantation et de surveillance ionique impressionnant qui offre des performances idéales à un prix compétitif. Il bénéficie d'un courant de faisceau réglable et d'une technique de balayage sophistiquée, offrant aux utilisateurs un contrôle complet sur la fixation des implants. En outre, l'actif est fiable, automatisé, convivial et offre une excellente reproductibilité, ce qui en fait le choix de confiance des professionnels de l'industrie.
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