Occasion EATON NOVA / AXCELIS NV GSD-HE #293615032 à vendre en France
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Vendu
ID: 293615032
Taille de la plaquette: 8"
Ion implanter, 8"
Source module:
Gas box:
Gas line-1: HP(Ar), Tylan
Gas line-2: HP (BF3)
Gas line-3: MKS, SDS, PH3
Gas line-4: MKS, SDS, ASH3
Isolation transformer: Oil type
Injector module:
Source type: ELS / Non-vaporizer
Extraction electrode type: 3-Axis electrode
BOC EDWARDS STP-2000C
EBARA 40X20 Dry pump
Facilities module:
Machine transformer: Dry type
Triple loops chiller
AFFINITY CWA-300L-VHE-3LP, P/N:10185
AFFINITY RWA-012T-BE03CB Disk chiller
(2) CTI Cryogenic 9600 compressors
Linac module:
Injector faraday
(2) LEYBOLD Turbovac 1000C Turbo pumps
EBARA 40X20 Dry pump
(4) RFG-3000
(6) RFG-3001
FEM Module:
FEM Power: EMS:03-165-2-D, P/N:00473110
EMS: 03-165-2-D, P/N:00473110
FEM Guss: P/N:1182890
Endstation Module:
307 Type controller
Ion gauge type: Tube glass
4-Axis In-Air controller
4-Axis Robot controller (Macobot controller)
4-Axis Y-Scan controller
4-Axis Cyro controller
Universal dose controller
Disk module:
CTI-CRYOGENIC OB-8
CTI-CRYOGENIC OB-10
CTI-CRYOGENIC OB-250F
EBARA 40X20 Dry pump
Flag faraday
In-Vac arm
Wafer holder
Gyro
Linear drive
Disk faraday
Resolver faraday
Disk model: Si coating
Rotary motor type: Belt drive
Vacuum cassette elevator type: GRTV
Notch finder
Dummy cassette
Load buffer
E/S Elec rack / Quad console module:
Quad rack module
Quadruple power supply
(5) Quadruple power supplies
E/S Elec rack module:1178580
Cell controller model: 133, P/N:1191297
Ground DI
DI Power conditioner
Gyro controller
Loadlock controller
DEXON / PN:19077660 / Flow hood.
EATON NOVA/AXCELIS NV GSD-HE est un implant et moniteur ionique de pointe conçu pour des applications d'implantation de faisceau d'ions. L'équipement est conçu pour être utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs, et est capable d'implanter des ions de haute qualité avec des résultats ultra-précis et fiables. Le système utilise une source d'ions haute énergie et haute tension et une gamme de caractéristiques avancées pour assurer l'implantation de petites doses d'ions bien définies avec précision et fiabilité. La source d'ions de l'unité GSD-HE est une source d'ions haute tension très fiable, à haute énergie, avec une configuration d'aimant triple axe. Cette source d'ions est capable de produire des faisceaux d'ions impulsions jusqu'à 2,1 MeV et un faisceau continu jusqu'à 2,3 MeV et est capable de produire la plus haute qualité d'implantation d'ions disponible. La source d'ions est hautement configurable et peut atteindre différents niveaux de profondeur d'implantation, d'angle et d'énergie grâce aux paramètres d'entrée de l'utilisateur. Le GSD-HE utilise également une gamme de fonctionnalités avancées pour garantir des résultats précis et fiables. La machine est équipée d'un outil de surveillance complet du faisceau d'ions, qui permet de surveiller en temps réel tous les paramètres critiques tels que l'intensité du faisceau, la forme du faisceau, le niveau d'énergie et le nombre d'ions implantés. Cela permet à l'utilisateur d'obtenir les résultats les plus précis et les plus fiables. L'actif dispose également d'une variété d'alarmes et de systèmes de sécurité pour maintenir le fonctionnement du modèle en toute sécurité, ainsi que d'une fonction de commutation automatisée pour assurer la commutation automatique entre les paramètres d'implantation et de surveillance. En plus de toutes ces fonctionnalités, l'équipement GSD-HE offre également une gamme de fonctionnalités avancées pour augmenter la vitesse, la précision et la fiabilité de tout processus d'implantation. Cela comprend un système de balayage adaptatif qui permet une implantation plus rapide et plus efficace, ainsi que la capacité de programmer l'unité pour effectuer plusieurs implants en un seul cycle. Le GSD-HE dispose également d'une gamme d'outils de contrôle et de diagnostic de haute performance pour garantir des résultats fiables, comme un outil d'échantillonnage de la graisse qui prélève des analyses futures pour vérifier la précision de l'implantation et un mode d'étalonnage intégré pour assurer la précision et la répétabilité des implantations. Le GSD-HE est une machine fiable et performante qui offre à l'utilisateur une large gamme de fonctionnalités avancées pour optimiser son processus d'implantation. Sa variété de systèmes de surveillance et de contrôle en font un choix idéal pour les utilisateurs expérimentés et inexpérimentés. Associé à ses composants de pointe, le GSD-HE est le choix idéal pour obtenir des résultats d'implantation fiables et de haute qualité.
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