Occasion CYMER EX 4000A #9015366 à vendre en France

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Fabricant
CYMER
Modèle
EX 4000A
ID: 9015366
Ultraviolet laser system Argon fluoride laser source Maximum average power: 50 W Maximum pulse energy: 0.5 Joules Pulse duration: 0-50 nSec Wavelength: 193 nm Includes: (2) General comm ports (2) Paddle ports Stepper I/O RS-232 ports Synchronizer Trigger External monitoring connections.
CYMER EX 4000A est un laser à excimère pulsé conçu pour les procédés modernes de fabrication de semi-conducteurs. Ce laser haute performance délivre un rayonnement ultraviolet profond (DUV) à une longueur d'onde de 248nm. Il est capable d'effectuer des opérations d'ablation, de lithographie et de nettoyage et est un composant essentiel des processus de photolithographie tels que la gravure, le marquage et la découpe. L'équipement est alimenté par un module impulsionnel basse tension et très efficace pour fournir jusqu'à 61 Joules d'énergie par centimètre carré. Cette puissance élevée permet une photodissociation à haute énergie et une ablation ultérieure, fournissant ainsi d'excellents résultats de processus. Le profil de faisceau exceptionnel et la stabilité énergétique impulsionnelle permettent des performances d'ablation stables et uniformes pour des résultats exceptionnellement précis. L'uniformité du faisceau est supérieure à 80 % avec un indice de réfraction inférieur à 1,4 et une divergence inférieure à 4 mrad. Le système comprend également un obturateur interne et externe permettant un fonctionnement sans obturation. L'unité comprend un interféromètre laser hélium-néon intégré qui fournit un contrôle interférométrique en boucle fermée pour assurer une répétabilité impulsionnelle précise. On obtient ainsi une précision dans les opérations d'ablation. Le générateur à faible bruit aide en outre à réduire les interférences et les ambiguïtés indésirables pour des lectures claires dans des temps d'intégration courts. La machine comprend également une variété d'options d'interface telles qu'un USB de 488 nm, un port série RS-232 de 9 broches et une interface EtherCAT EtherNet/IPTM pour les entrées modernisées. La grande fiabilité et la robustesse de l'EX 4000A permettent un fonctionnement efficace sur le terrain pendant une longue période. Une variété de pièces de rechange et d'accessoires sur place sont également disponibles pour améliorer la performance de l'outil. L'actif comprend une interface conviviale qui rend la configuration et le fonctionnement simples et sans tracas. De plus, l'unité peut être desservie à distance à l'aide de la plate-forme de service. Dans l'ensemble, le laser CYMER EX 4000A est un modèle laser avancé conçu spécifiquement pour les procédés modernes de fabrication de semi-conducteurs. Il offre des performances robustes, un fonctionnement fiable et une qualité de faisceau exceptionnelle pour des opérations très précises. La large gamme d'options d'interface assure un fonctionnement et une maintenance faciles tandis que l'interface conviviale favorise une configuration et un fonctionnement faciles.
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