Occasion KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #60054 à vendre en France

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ID: 60054
Taille de la plaquette: 4"
Aligner, 4" Alignment accuracy (between upper and lower side of the wafer): <2 Microns Alignment table rotation: <2° Double side exposure Cassette to cassette handling Bright field and dark field illumination Diffraction reducing optical systems 350W HBO Lamps.
KARL SUSS/MICROTEC MA 24 est un adaptateur de masque automatisé conçu pour diverses applications de photolithographie. La machine est conçue pour être très précise, capable d'atteindre des résolutions inférieures à 0,25 µm. Il est équipé d'une caméra optique qui permet d'évaluer avec une grande précision l'alignement entre le masque et le substrat. MICROTEC MA 24 comprend un certain nombre de fonctionnalités pour un large éventail d'applications, telles que le contrôle de l'alignement des pas et la correction manuelle de l'alignement. Pour commencer le processus d'alignement, KARL SUSS MA 24 reçoit un substrat qui est placé dans le support de la machine. Le substrat peut être composé d'une variété de matériaux tels que le silicium, la silice et le verre, et la taille du support est conçue pour s'adapter à différentes tailles de substrat. Après chargement du substrat, le masque est placé dans le porte-masque puis inséré dans l'étage de positionnement du masque en parfait alignement avec le substrat. MA 24 exécute alors un bref processus d'alignement de masque avant de commencer le processus de transfert des réticules. Le processus de transfert des réticules exige que KARL SUSS/MICROTEC MA 24 utilise une variété d'optiques avancées, y compris des LED, des lampes à arc, des faisceaux Bessel et un système de projection laser pour transférer avec précision le motif du masque sur le substrat. Ces optiques, combinées à la commande d'alignement pas à pas, permettent un positionnement très précis du réticule sur le substrat. Le MICROTEC MA 24 comporte également une fonction manuelle de correction d'alignement qui permet à l'utilisateur de modifier l'alignement du masque sur le substrat pour un placement plus précis du réticule. Une fois le processus de transfert réticulaire terminé, KARL SUSS MA 24 passe à l'étape de durcissement, où le motif transféré est définitivement transféré sur le substrat par durcissement du matériau résineux. La MA 24 peut être équipée soit d'une lampe de durcissement UV, soit d'une plaque chauffante, selon les exigences de l'application actuelle. Enfin, après durcissement du motif, on peut régler la machine pour aligner un autre masque sur le même substrat en répétant le processus d'alignement sans avoir à enlever le substrat. Globalement, KARL SUSS/MICROTEC MA 24 est un aligneur de masque très précis conçu spécifiquement pour diverses applications de photolithographie. Ses caractéristiques d'optique avancée et d'alignement permettent un placement très précis du réticule sur le substrat et ses caractéristiques de durcissement assurent une fixation permanente du motif sur le substrat. La capacité de la machine à recharger le même substrat utilisé dans l'alignement précédent permet de gagner du temps de traitement et d'augmenter l'efficacité.
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