Occasion KLA / TENCOR Archer 10 XT #9379085 à vendre en France

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ID: 9379085
Overlay inspection system.
KLA/TENCOR Archer 10 XT est un équipement de haute performance, masque automatisé et d'inspection de plaquettes conçu pour répondre aux besoins avancés de lithographie des processus de production de semi-conducteurs les plus exigeants. Le système dispose d'une unité d'imagerie et d'inspection optique avancée qui fournit des détails d'imagerie haute résolution et une analyse précise des motifs et des défauts sur les plaquettes et les masques. La machine comprend une caméra de traitement d'images couleur intégrée qui capture à la fois des images de champ lumineux et de champ sombre pour permettre la détection précise des défauts. L'UCK ARCHER10XT dispose également d'un certain nombre d'outils de métrologie intégrés, dont la microscopie à double énergie et une gamme d'outils automatisés de classification des défauts. Ces outils fournissent un niveau élevé de précision pour l'inspection des caractéristiques critiques telles que les lignes et les espaces, les angles de flanc et les isolations. L'outil dispose également de capacités de mesure précises pour l'analyse de cartes d'erreur, y compris les rayons excédentaires, le dépôt de particules et les résidus de résines photosensibles. Il dispose également de capacités d'automatisation avancées, permettant aux ingénieurs de processus de programmer des routines d'inspection automatisées et personnalisées avec une intervention minimale de l'utilisateur. En outre, TENCOR ARCHER 10XT dispose d'une gamme de fonctionnalités facultatives qui comprennent un atout d'alignement automatique pour une orientation précise des plaquettes et une combinaison scatterométrie/modèle annulaire de champ sombre pour une meilleure détection des défauts de masque. Il a une architecture de métrologie robuste qui est construite autour de trois axes de mesure indépendants, fournissant un haut niveau de précision et de répétabilité. Il dispose également d'une interface utilisateur graphique conviviale et tactile pour une navigation facile. TENCOR ARCHER10XT combine des technologies d'imagerie et d'inspection KLA éprouvées et éprouvées avec une gamme de fonctions de machine haute performance, fournissant une solution fiable et complète pour le contrôle des processus de masque et de plaquette. Il est conçu pour fonctionner à haut débit, contribuant à réduire les temps de cycle et à augmenter la productivité. Avec son ensemble de fonctionnalités avancé et ses performances fiables, KLA Archer 10 XT est un outil idéal pour les processus de production de semi-conducteurs.
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