Occasion KLA / TENCOR Archer AIM #151422 à vendre en France
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Vendu
ID: 151422
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Overlay inspection system, 12"
Front end only
(2) ASYST 300mm IsoPort load-ports:
PN: 9700-9129-01 rev J
SW ver: 5206-2702-0800
Brooks PRE-300B-U-I-CE-S2 pre-aligner:
KLA PN: 0029191-000
Brooks robot handler:
3-axis, single arm, single blade / end-effecter
Mini-environment with HEPA filter
CE marked
2006 vintage.
KLA/TENCOR Archer AIM est un équipement automatisé d'inspection de masques et de plaquettes qui possède un large éventail de caractéristiques spécifiquement conçues pour s'assurer que la qualité et les spécifications d'une plaquette sont maintenues. Il est capable de s'assurer qu'il n'y a pas de défauts critiques susceptibles de compromettre la qualité de la plaquette de quelque manière que ce soit. KLA Archer AIM utilise une optique de pointe, des techniques d'inspection visuelle de haute qualité et des capacités de métrologie supérieures pour s'assurer que tous les défauts sont correctement identifiés, quantifiés et classifiés. Cela aide à améliorer le rendement des puces et à réduire le risque de défaillance des puces. TENCOR Archer AIM est livré avec une suite de logiciels et de matériel puissants tels que le MetaSuite™, Image Coach, ProPerf, SuperTronics, BitMap, AIM-Scan et AIMTest. Le MetaSuite ™ éclaire les défauts du masque et de la structure des plaquettes, tandis que AIM-Scan utilise des algorithmes avancés pour s'assurer que la disposition des motifs est complètement précise. Image Coach est un outil d'inspection 3D qui mesure la forme et la taille des défauts. BitMap cartographie rapidement les formes et les tailles des défauts pour le transport vers une base de données. Le ProPerf est un module de performance qui évalue rapidement et avec précision les performances d'une surface de plaquette. L'outil SuperTronics est utilisé conjointement avec le ProPerf pour s'assurer que les caractéristiques électriques de la plaquette sont également correctes. L'AIMTest est un système d'essai semi-automatisé qui inspecte la plaquette une fois son processus de fabrication terminé. Archer AIM est également capable de fournir des informations sur la densité des défauts tels que l'emplacement, la taille et la forme. Cela aide à identifier les défauts microscopiques et macroscopiques qui pourraient conduire à des pertes de rendement. De plus, l'unité dispose d'une interface utilisateur riche et d'options de personnalisation flexibles pour les visualisations, l'analyse de données et le prototypage rapide. Globalement, KLA/TENCOR Archer AIM est un outil puissant pour l'inspection des plaquettes et des masques, car il est équipé de fonctionnalités qui fournissent une haute résolution d'image, l'analyse des défauts, et des informations complètes sur la plaquette. En outre, ses logiciels et matériels modulaires haut de gamme en font une machine hautement personnalisable et fiable.
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