Occasion KLA / TENCOR Archer AIM #9097080 à vendre en France
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Vendu
KLA/TENCOR Archer AIM est un équipement innovant d'inspection des masques et des plaquettes qui fournit une détection avancée des défauts, la caractérisation des particules et l'analyse d'image au niveau des plaquettes de précision. À l'aide d'une caméra haute résolution, associée à un logiciel de traitement d'image avancé, KLA Archer AIM crée une représentation tridimensionnelle complète de la surface d'un photomasque et/ou d'une plaquette, permettant une détection précise des défauts, une analyse précise des images et une caractérisation précise des particules. TENCOR Archer AIM permet une cartographie précise et des défauts, ainsi qu'une carte complète des plaquettes. Cette carte est utilisée par les utilisateurs pour suivre et analyser le placement, la forme et la taille des défauts et des particules trouvés sur la surface de la plaquette. En mesurant et en suivant avec précision les géométries des défauts, Archer AIM est un outil puissant pour améliorer la tolérance aux défauts des dispositifs à noeuds avancés, réduire la défectivité et augmenter les rendements des produits. Le système de profilage de faisceau KLA/TENCOR Archer AIM utilise également une technique avancée de décalage de faisceau et une optique spécialement conçue pour mesurer la taille du faisceau, le pointage et l'astigmatisme sur le masque et/ou la plaquette. Pour ce faire, on affiche un ensemble de taches différentes, appelées « populations de taches », qui représentent tous les différents types de défauts qui peuvent être présents. Avec cette fonction de profilage de faisceau, KLA Archer AIM peut diagnostiquer avec précision et rapidité les problèmes de précision de superposition ainsi que les problèmes de diffusion et de lithographie. TENCOR Archer AIM dispose également d'une unité de métrologie des particules, qui utilise une caméra à balayage rapide, couplée à une variété de capteurs d'image, pour déterminer rapidement et avec précision la taille et la forme des particules sur la surface du masque et/ou de la plaquette. En combinant plusieurs inspections de différents types de défauts en une seule étape, il contribue à réduire le temps de cycle d'inspection et le coût total de la propriété. Archer AIM est équipé d'une machine de visualisation de données intégrée, permettant aux utilisateurs d'examiner et d'évaluer les performances et les tendances de contrôle des défauts, ainsi que d'analyser la dérive des processus, pour aider à améliorer le rendement. L'outil est conçu pour aider les fabricants d'appareils à atteindre leurs objectifs de rétrécissement, d'amélioration des performances des appareils et de création de nouveaux nœuds de processus. En résumé, KLA/TENCOR Archer AIM est un outil avancé d'inspection des masques et des plaquettes qui fournit la détection précise et détaillée des défauts, la caractérisation des particules et l'analyse précise des images au niveau des plaquettes. En permettant l'édition et la cartographie des défauts, le profilage des faisceaux et la métrologie des particules, KLA Archer AIM est un outil puissant pour améliorer les rendements de fabrication des dispositifs, ce qui en fait un outil inestimable pour les fabricants de dispositifs.
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