Occasion KLA / TENCOR EFEM #9276609 à vendre en France
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Vendu
ID: 9276609
System
(2) ASYST 300FL,S3 STD, KT07 Load ports
Part number: 9750-0038-01
BROOKS PRE-300BU-I-CE-S2 Pre-aligner
PRI TRA035-LPS Robot rail
Cable still intact.
KLA/TENCOR EFEM est un équipement d'inspection de masques et de plaquettes doté d'une capacité de détection de défauts en plein champ. Avec l'intégration de sa conception optique unique, de sa conception matérielle robuste et de son traitement d'image avancé, ce système offre une précision et une répétabilité supérieures dans l'inspection d'assurance de la qualité. L'unité utilise l'imagerie laser laser améliorée brevetée KLA et la technologie d'imagerie optique avancée pour révéler des informations de surface détaillées et des défauts de sous-microns. Le matériel optique de haute précision garantit que les défauts et les imperfections sont détectés et caractérisés en détail. La technologie intégrée de filtrage de la lumière abrasive élimine les artefacts d'image causés par la lumière ambiante, permettant une imagerie optimale de chaque masque et plaquette. La machine dispose également d'une tête de caméra haute résolution, d'une optique de zoom de haute précision, d'un outil d'autofocus haut de gamme et d'algorithmes de traitement d'image puissants qui offrent des performances et une analyse inégalées. En outre, la technologie KLA EFEM compacte brevetée de l'actif offre une plate-forme d'inspection entièrement intégrée qui comprend la reconnaissance de motifs et la génération de masques, la détection et la correction rapides sur le terrain, la détection et la classification des défauts, la comparaison entre les plaquettes, ainsi que la reconnaissance des bords spéciaux. Dans le même temps, le modèle utilise des algorithmes d'appariement des données d'affinité et d'analyse de patrons pour saisir les écarts dans la transition ou l'alignement des bords et l'inspection de la moitié. Cela garantit que les performances réelles du masque sont évaluées avec précision et en temps réel. L'équipement EFEM de TENCOR comprend également une suite de logiciels automatisés d'inspection et d'analyse qui permettent d'intégrer une variété de mesures de contrôle de la qualité conçues sur mesure et d'outils d'examen manuel. En outre, le système offre une gamme de capacités de traçabilité et de suivi, permettant aux opérateurs de vérifier rapidement et avec précision les données de production et d'inspecter les résultats afin de respecter correctement les normes établies. Dans l'ensemble, l'unité EFEM fournit une précision et une répétabilité exceptionnelles dans l'assurance qualité des masques et des plaquettes. Cette solution puissante et polyvalente permet aux fabricants d'assurer la qualité de leurs produits, ainsi que de gagner du temps et de l'argent.
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