Occasion KLA / TENCOR Terascan SL 536 #9363034 à vendre en France
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Vendu
ID: 9363034
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Reticle inspection system, 12"
(2) UICs
Power box
Non functional parts:
Laser
FRED
Assembly
FRU
Robot
RLS2
5XX
SBC
Programmed XES
Datapath / PKT-XR
KIT
Laser PSU Flow meter
Power supply
Air solenoid
24 V
3-Port
SMC
W/LG FLW
Subplot
Ethernet 8-ports switch
2007 vintage.
KLA/TENCOR Terascan SL 536 est un équipement d'inspection de masque et de plaquettes de pointe optimisé pour une gamme d'applications dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. Ses capteurs d'image de réseau brevetés et son optique avancée sont conçus pour détecter et analyser les plus petites sources de défauts sur une variété de supports de masque et de plaquettes, y compris les plaquettes de silicium, les cellules solaires à couches minces, les photomasques et les réticules. Le KLA Terascan SL 536 offre des niveaux de précision et de fiabilité inégalés, détectant même les sites de défauts les plus complexes. Le système est capable de mesurer jusqu'à 512 μ m sur l'ensemble de la plaquette simultanément, en utilisant des technologies d'interférométrie de haute précision, CCD et CMOS. Son unité brevetée de grossissement d'image 1.5X et d'éclairage avancé garantit que TENCOR Terascan SL 536 fournit un éclairage distribué pour le SNR le plus élevé et l'imagerie la plus détaillée. Terascan SL 536 dispose également de stations d'alignement et de balayage automatisés pour la manipulation efficace d'une variété de types et de formes de plaquettes. Ses données de positionnement et d'alignement au niveau de la plaquette lui permettent de cartographier par erreur la surface de la plaquette pour déterminer l'emplacement exact des défauts détectés. Il est équipé d'une fonction avancée de reconnaissance de motifs qui reconnaît automatiquement les masques connus pour la détection de défauts entièrement automatisée. Ses outils logiciels et matériels de pointe utilisent des algorithmes de traitement de données à grande vitesse pour détecter rapidement et avec précision divers types de défauts tels que les dislocations, les marques d'ondulation, les fosses, les points lumineux et les vides. L'interface graphique conviviale de KLA/TENCOR Terascan SL 536 simplifie le processus d'exploitation pour permettre aux utilisateurs d'acquérir rapidement les informations souhaitées. Une interface ergonomique, haute résolution, écran tactile permet une interaction facile pour l'utilisateur, et la machine peut permettre un transfert de données sécurisé pour un partage rapide de l'information entre les usines et les installations. KLA Terascan SL 536 est très efficace, analysant masques et plaquettes en quelques minutes. Il offre la meilleure qualité d'image, assurant une augmentation de la productivité, une détection accrue des défauts, et des rendements améliorés pour la production de masse.
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