Occasion SCHMITT INDUSTRIES TMS-3000WRC #9225643 à vendre en France
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Vendu
ID: 9225643
Taille de la plaquette: 5"-12"
Style Vintage: 2014
Surface roughness system, 5"-12"
Non-contact measurement
Full surface scan
Front and backside measurement
Friendly GUI
Mapping (Color plot) function
Measurement material: Bare silicon wafer / Coated silicon wafer
Measurement size: 4"-12"
Measurement thickness: < 100 um
Water chuck method: Vacuum chucking
Rotary stage:
Repeatability: +/- 0.01°
Accuracy: +/- 0.05°
Linear stage:
Repeatability: +/- 0.01 mm
Accuracy: +/- 0.03 mm
Computer: Pentium class computer
Data generation: ASCII / SPC / Color plot with scan notes
Measurement specification:
Source: Class II Laser, 670 nm
Spot size: ~1mm Diameter
Measurement points: Programmable (Single point to full map)
Data type: Ra, RMS(Rq), PV, TIS, Haze
Edge exclusion: 1mm
Measurement speed: 20 to 100 Measurement points / sec
Measurement range: 0.2A to 10,0000A (RA or RMS)
Resolution: 0.02A
Repeatability: +/-0.10A
Reproducibility: +/-0.20A (Reloaded)
Filtering band:
Low band: 0.026 to 0,129 um - 1 (7.8 to 38 um)
High band: 0.129 to 1.4 um - 1 (0.88 to 7.8 um)
Full band: 0.026 to 1.14 um - 1 (0.88 to 38 um)
Comp band: Selectable from 0.2 to 150 um
Temperature: 5°C ~ 40°C
Vacuum: -9.3 Pa
OD Tube connector: 6mm
Standard AC power code
Power: AC 100-240 V, 50/60 Hz
2014 vintage.
SCHMITT INDUSTRIES TMS-3000WRC Mask & Wafer Inspection Equipment est un système d'inspection et de mesure de surface à la pointe de la technologie, à grande vitesse et non destructif conçu pour les applications les plus exigeantes d'inspection des plaquettes et des masques. Il est idéal pour l'industrie des semi-conducteurs, offrant un haut niveau d'automatisation, de sophistication et de précision. TMS-3000WRC unité offre une résolution supérieure, une imagerie extrêmement rapide et précise, un contrôle précis et une excellente répétabilité. Sa machine d'optique, d'imagerie, de mouvement et de contrôle de pointe fournit le plus haut niveau de mesures 3D et d'images topographiques. Son interface logicielle intuitive et son interface utilisateur graphique facile à utiliser permettent des inspections rapides, précises et répétables des masques et des plaquettes. L'outil SCHMITT INDUSTRIES TMS-3000WRC est conçu avec une tourelle configurable qui permet d'échanger facilement jusqu'à quatre capteurs différents. Cela permet une large gamme d'inspections de surface incluant le bord, la taille des gouttes, la rupture, les défauts, le dopant, le grain, l'absorbance et les réflexions. Il offre également des configurations automatiques de champ lumineux et de lumière de champ sombre, permettant des mesures morphologiques précises incluant la rugosité, la planéité, la taille des particules et l'épaisseur de l'oxyde. TMS-3000WRC actif a une large gamme dynamique qui le rend capable d'inspecter des surfaces très réfléchissantes à des vitesses élevées. Sa fonction de focalisation automatique à la pointe de la technologie permet également au modèle de maintenir une focalisation optimale pour l'inspection des défauts sur toute la surface d'un masque ou d'une plaquette. Grâce à une technologie intégrée de reconnaissance des motifs, l'équipement peut facilement distinguer les défauts normaux, mineurs et graves sur un masque ou une plaquette. Le système SCHMITT INDUSTRIES TMS-3000WRC dispose également d'algorithmes avancés d'analyse et de traitement d'images, qui permettent des résultats rapides et précis. En outre, l'unité offre également une large gamme d'accessoires, tels que des étages linéaires de haute précision, des tables d'inspection contrôlées par vibration et des capteurs de vision, pour une inspection plus avancée du masque ou de la plaquette. Dans l'ensemble, TMS-3000WRC Mask & Wafer Inspection Machine est une solution inégalée pour les applications d'inspection de masque ou de wafer les plus exigeantes. Son large éventail de caractéristiques, sa précision et son automatisation en font l'un des meilleurs systèmes de sa catégorie.
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