Occasion VEECO Gen II #9073487 à vendre en France
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ID: 9073487
Taille de la plaquette: 3"
MBE Growth system, 3"
(10) ports for dopants
Process: Growth of arsenides and phosphides
Liquid nitrogen
Phase separator
AlGaAs Laser
Room temperature: 6°C - 10°C
Vacuum:
Growth chamber (GC)
Triode ion pump: 400 l/sec
Buffer chamber (BC)
Triode ion pump: 200 l/sec
(2) TSP Controllers
Loadlock chamber (LC)
(100) CTI Cryotor cryopumps
(2) Vacshorption pumps
Ventury pump
In situ and calibration tools:
RHEED System: 0-10 keV
RHEED Oscillation growth rate calibration system
Cells:
EPI
Valved cracker with valved controller
Cable
Riber three zone
P Valved cracker with valve controller
Power supply
(4) 400g Sumo cells Ga, In, Al
(2) Dopont cells
Dual electronic equipment rack, 19"
(12) Solenson DC power supplies
Riber P valved cracker
2704 Dual channel
Eurotherm controller
Substrate and heated station
(2) DC Power supplies
Substrate heater
Heated station
Other tools:
Ircon optical pyrometer
Growth chamber and beam flux
(2) GP Ion gauge controllers
Buffer and loadlock chamber
RHEED Power supply
RGA Power supply unit
TEK Scope
Riber P cracker power supply
Pyrometer port heated viewport
Substrate manipulator controller
Loadlock chamber
Lamp power and controller
AGILENT / HP / HEWLETT-PACKARD / KEYSIGHT Chart record mounted
RHEED Oscillation recording
Trolley for substrate handling.
VARIAN/VEECO GEN II est un équipement d'épitaxie par faisceau moléculaire (MBE) utilisé pour la production de couches minces et de matériaux destinés à une large gamme d'applications. Le système se compose de plusieurs composants, dont une chambre principale, une chambre de croissance, une cellule d'effusion, des pompes et un moniteur commandé par ordinateur. La chambre principale abrite la cellule d'effusion, qui contient les sources du matériau à évaporer. La chambre principale est étanche sous vide et la croissance des couches minces se fait à l'intérieur de la chambre de croissance. La cellule d'effusion peut être chauffée à des températures allant jusqu'à 1000 ° C, ce qui permet l'évaporation du matériau. Les parois de la chambre sont chauffées pour assurer des températures uniformes dans toute la chambre de croissance MBE. VEECO GEN II est capable de produire des couches minces d'épaisseur comprise entre 3 et 200nm. L'unité est équipée de trois cellules d'effusion, et toutes les cellules sont reliées à une pompe turbomoléculaire turbomoléculaire. Cela permet à la machine d'atteindre une pression de 1,0x10-10 Torr dans la chambre principale, ce qui est idéal pour la croissance de couches minces. Les cellules peuvent également être équipées d'une chicane externe pour réduire le flux de neutrinos lors du dépôt du film. En plus de sa capacité à produire des couches minces, l'outil comprend également un moniteur contrôlé par ordinateur. Ce moniteur est utilisé pour contrôler la température et la pression à l'intérieur de la chambre et pour surveiller le processus de croissance. L'actif comprend également une variété de dispositifs de sécurité tels que des joints d'étanchéité sous vide et des thermocouples pour surveiller la température de la chambre. VARIAN GEN II est un modèle idéal pour produire des couches et des films minces pour un large éventail d'applications. L'équipement comprend les caractéristiques nécessaires à la croissance des couches minces à grande échelle, et le moniteur piloté par ordinateur du système permet un contrôle précis du processus de croissance des couches minces. L'unité est également conçue pour être modulaire, permettant aux utilisateurs d'étendre ou de réduire le nombre de cellules d'effusion au besoin. Avec son design robuste et ses fonctionnalités avancées, GEN II est un excellent choix pour les chercheurs et les développeurs de films minces.
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