Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9158302 à vendre en France

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000
Vendu
ID: 9158302
Cluster spray coating / processing system Computer control Staubli unimaton robotic arm Nesting station Chill unit.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000 est un équipement de haute précision conçu pour des applications avancées de microfabrication. Ce système intègre de nombreuses fonctionnalités conçues pour améliorer ses performances et sa qualité de sortie, lui permettant de répondre aux exigences des procédés semi-conducteurs les plus avancés. FSI Polaris 2000 est équipé d'une source de lumière UV profonde et d'une chambre de cuisson à basse température. Cela garantit de faibles niveaux de particules et de contamination pendant le traitement ainsi que des temps d'exposition précis à la lumière. Un alignement de masque de haute précision est également inclus, ce qui garantit une production précise de motifs et de caractéristiques complexes. Pour garantir des résultats exacts et reproductibles, TEL Polaris 2000 comprend un certain nombre de fonctionnalités qui permettent un contrôle précis des paramètres du processus photorésist. Ceux-ci comprennent des recettes définies par l'utilisateur pour les processus d'exposition et de développement, des contrôleurs de débit de masse précis pour les bains chimiques, et une gamme de routines de maintenance automatisées pour maintenir le fonctionnement optimal de l'unité sur de longues périodes de temps. La machine de contrôle thermique incluse avec TOKYO ELECTRON Polaris 2000 est également conçue pour un niveau élevé de précision et de précision. Ceci assure une température constante et un profil de température plat pendant le processus de cuisson de la résine photosensible, ce qui est crucial pour obtenir des résultats uniformes. La sécurité intégrée et les caractéristiques ergonomiques permettent d'assurer la sécurité et le confort des opérateurs. L'outil comprend une surveillance automatique du niveau du bain chimique, une ventilation automatisée, des dispositifs de sécurité de la température et des composants d'automatisation conviviaux. Dans l'ensemble, Polaris 2000 est une solution idéale pour les processus de microfabrication avancés. Sa combinaison de caractéristiques le rend très précis et reproductible, et ses caractéristiques de sécurité et d'ergonomie garantissent sa sécurité et son confort d'utilisation.
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