Occasion FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000 #9158303 à vendre en France

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FSI / TEL / TOKYO ELECTRON Polaris 2000
Vendu
ID: 9158303
Cluster spray coating / processing system Computer control Staubli unimaton robotic arms Nesting stations Chill units.
FSI/TEL/TOKYO ELECTRON Polaris 2000 est un équipement de traitement de photorésistance conçu pour la prochaine génération de fabrication avancée de circuits intégrés. Le traitement photorésist est une technologie essentielle dans la fabrication de circuits intégrés, puisqu'il est utilisé pour la création de motifs sur des couches de matériau photosensible. Le FSI Polaris 2000 est équipé d'un porte-plaquettes de filage à deux faces pour promouvoir l'uniformité du revêtement photorésist. Le système comprend également une station de traitement humide, avec un lavage automatique des modules pour une fabrication efficace, ainsi qu'un revêtement antireflet automatisé. L'unité est conçue pour assurer un enregistrement précis des motifs et des performances optiques à haute résolution, en veillant à ce que les conceptions complexes puissent être reproduites avec précision sur les plaquettes semi-conductrices. De plus, la machine peut traiter plusieurs types de matériaux résistants, y compris des matériaux à tonalité positive et négative, ce qui la rend facile à utiliser dans le développement et la production. L'outil a également la capacité d'incorporer des modules de mélange et de correspondance pour répondre aux besoins spécifiques des applications clients. Les modules de mélange et d'adaptation comprennent un balayage de la température thermique, un correcteur de règles de conception et un module de traitement planaire. En plus de ses capacités de traitement photorésist rapides et précises, l'actif dispose également d'une interface utilisateur innovante pour améliorer la productivité. L'interface utilisateur graphique (UI) facile à utiliser permet aux opérateurs de personnaliser rapidement les recettes et d'ajuster rapidement les paramètres du processus sans avoir à ajuster manuellement les équilibres. Enfin, TEL Polaris 2000 dispose d'un modèle d'auto-essai intégré pour s'assurer que l'équipement fonctionne correctement avant et pendant la production. Ce système comprend un module d'autodiagnostic, un module de cycle de maintenance et un module d'assurance qualité durable. Une telle unité complète aide les utilisateurs à tirer le meilleur parti de leur procédé de fabrication de résines photosensibles, assurant un rendement constant et de haute qualité.
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