Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 #9382447 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 est un appareil de gravure photorésist de pointe utilisé dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs pour la formation de motifs ultra-fins avec une grande fidélité. Sa caractéristique principale est le système avancé « Act In/Out » qui traite la surface de la plaquette avec deux types différents de lumière laser à l'intérieur d'une même chambre, permettant une plus grande uniformité de gravure par rapport aux processus à ingestion unique. TEL Clean Track ACT 8 utilise une méthode de gravure en deux étapes. Tout d'abord, un procédé de dépyrogénation sans pompe à restriction lumineuse (DRL) utilise une lumière laser focalisée pour vaporiser les impuretés déposées à la surface de la plaquette. En deuxième lieu, un laser passe-travers de faible puissance est utilisé à très basse température pour déposer la photorésist en une seule passe.Ce procédé en deux étapes produit des motifs de photorésistance extrêmement fins et uniformes et un profil de bord très contrôlé sans traitement humide. La machine dispose également d'indexation de haute précision, ce qui se traduit par une haute fidélité de placement de la résine photosensible qui est critique pour le processus de gravure. Ceci est rendu possible par l'utilisation d'algorithmes de contrôle du mouvement de l'étage de précision et de reconnaissance intégrée des motifs. L'outil utilise également un « motif d'éclairage adaptatif » breveté, qui garantit que l'intensité lumineuse est toujours uniforme à travers la plaquette, et l'optique « miroir et verre » pour focaliser constamment le laser et maintenir la résolution de l'image même à des températures extrêmes. De plus, l'actif dispose d'un processus de gravure photorésist optimisé. Plutôt qu'un seul applicateur, ce processus utilise un poste de travail simullaser double pour une uniformité maximale et une imagerie haute résolution. Enfin, TOKYO ELECTRON Clean Track ACT 8 est équipé d'un logiciel sophistiqué qui permet de suivre tous les paramètres et processus pour une gravure extrêmement précise et d'excellents rendements. En résumé, Clean Track ACT 8 est un modèle de gravure photorésistante de nouvelle génération conçu pour obtenir une formation de motifs extrêmement précise et des bords ultra-fins avec une grande précision. Il utilise un processus en deux étapes qui vaporise les contaminants et applique la photorésist dans une passe, et dispose également de systèmes avancés de manipulation de la lumière laser, « motif d'éclairage adaptatif » unique, et une plate-forme logicielle puissante pour le contrôle précis du processus de gravure.