Occasion TEL / TOKYO ELECTRON CS450 #9269628 à vendre en France

L'équipement de photorésistance TEL/TOKYO ELECTRON CS450 est un système de dépôt semi-automatisé destiné aux procédés de fabrication de semi-conducteurs. L'unité est conçue pour assurer le dépôt précis de matériaux photorésistants avec des processus personnalisés et définis par l'utilisateur. La machine se compose d'un module de contrôle avec un panneau d'opérateur intégré, un module de traitement du substrat/photorésistance, un module de dépôt sous vide, un module d'alignement optique et un module de détecteur. Le module contrôleur contient une commande logicielle basée sur Windows qui permet aux utilisateurs de définir et stocker des profils de dépôt personnalisés et de surveiller les paramètres de l'outil. Le module de traitement/traitement photorésist du substrat est responsable des processus de traitement et de prétraitement du substrat. Il comprend une unité thermique et des cassettes spéciales pour le maintien des substrats. Le module de dépôt sous vide est conçu pour déposer des matériaux photorésistants ou d'autres matériaux en couches minces sur les substrats. Il utilise une technique de dépôt à basse pression contrôlée par diaphragme pour le dépôt uniforme de couches minces. Le module d'alignement optique assure l'alignement du substrat par rapport à la source de dépôt. Ce module comprend une caméra de détection de la position du substrat ou plaquette, et un dispositif mobile d'alignement optique pour l'enregistrement précis du substrat. Enfin, le module détecteur mesure l'épaisseur des couches minces déposées sur une plaquette d'échantillon. Globalement, TEL CS450 photorésist actif est un modèle rationalisé et rentable pour effectuer des dépôts de photorésist dans une variété de procédés de fabrication de semi-conducteurs. L'équipement dispose de multiples fonctionnalités conviviales telles que le contrôle intégré des procédés, le prétraitement et les composants de dépôt sous vide pour le dépôt en couches minces de précision. De plus, le système comporte un module d'alignement optique pour assurer le bon alignement des substrats pour un dépôt uniforme des films. Le module détecteur assure la bonne épaisseur des matériaux photorésistants déposés. Combinées, ces caractéristiques font de TOKYO ELECTRON CS 450 l'unité idéale pour le dépôt de couches minces dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs.