Occasion AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 #9146304 à vendre en France
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Vendu
ID: 9146304
Taille de la plaquette: 5"-8"
Rapid thermal processor annealing systems, 5"-8"
Includes:
Process chamber: Two high-intensity tungsten halogen lamp arrays
STD Bus for real-time operation
Quartz isolation tube
Robot / Robot controller
Gas control electronics
ULPA Filtration system
Graphic user interface (GUI) computer system
Electronics
Mass-flow-controlled gas handling
Cooling
ULPA Filtration
Mechanical assemblies
Applications:
Silicon dielectric growth
Implant annealing
Glass re-flow
Silicide formation and annealing
Nitridation of metals
Contact alloying
Oxygen donor annihilation
Wafer handling: Automatic serial processing
Standard cassettes
Throughput: Process dependent
Ramp-up rate:
Programmable
Range: 1 – 180°C Per second
Steady-state duration: 1 – 600 Seconds per step
Ramp-down rate:
Programmable
Temperature
Radiation dependent
Range: 1 – 180°C Per second
Maximum: 150°C per second
Steady-state temperature range: 400 – 1200°C
ERP Temperature accuracy: +3°C to -7°C
Calibrated against an instrumented thermocouple wafer (ITC)
Temperature repeatability: + 3°C
Temperature uniformity: + 5°C
Includes: Manuals.
AG ASSOCIATES Heatpulse 8108 est un processeur thermique rapide conçu pour un traitement thermique efficace et précis. Il convient à un large éventail d'applications thermiques, y compris le traitement thermique rapide de substrats semi-conducteurs, de couches minces, d'optoélectroniques et de dispositifs MEMS. Le 8108 est un processeur thermique rapide complet, offrant une plage de température de 50 ° C à 1200 ° C et une uniformité de température sur l'échantillon de ± 50 ° C, ainsi que des temps de cyclage thermique rapides de 30 sec à 6 minutes. Le 8108 est équipé du système de contrôle thermique AG ASSOCIATES IPM-6000, fournissant un contrôle précis de la température et un support pour plusieurs types et tailles de substrat. Le IPM-6000 offre une interface utilisateur intuitive et des profils thermiques programmables, permettant aux utilisateurs de créer rapidement et facilement des processus thermiques personnalisés. Il dispose également d'une gamme d'accessoires en option, y compris des moniteurs de température des éléments chauffants, des capteurs infrarouges à courte portée, des pyromètres à haute température et des modules de pyrographie. Le 8108 est livré avec un système d'éclairage aux halogénures métalliques, permettant de surveiller les processus en temps réel. Une chambre en acier inoxydable résistant à la corrosion et lourde est également incluse, empêchant l'oxydation et la contamination potentielle des échantillons. La chambre dispose également d'étagères à fentes conçues pour optimiser l'uniformité thermique. Le 8108 est conçu pour répondre à une variété de besoins de traitement thermique, fournissant un traitement thermique rapide, efficace et précis. C'est un choix idéal pour des applications dans la recherche sur les semi-conducteurs, le dépôt de couches minces, la fabrication de dispositifs MEMS et l'emballage électronique. Avec ses fonctionnalités avancées et sa conception conviviale, AG ASSOCIATES HEAT PULSE 8108 est un outil idéal pour un large éventail d'applications de traitement thermique.
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