Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-00893 #293658095 à vendre en France

ID: 293658095
Spare part for MxP+.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-00893 Le réacteur est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur (CVD) vertical à double zone conçu pour le dépôt en volume de couches minces, telles que les semi-conducteurs, les céramiques de spécialité et les métalloïdes. Ce réacteur utilise une combinaison de précurseurs thermiques et chimiques pour déposer le matériau directement sur un substrat, tel qu'une plaquette de silicium, dans deux zones de travail indépendantes. Le réacteur comporte deux zones verticales totalement indépendantes et isolées qui peuvent être chauffées individuellement pour optimiser les conditions propres au matériau ou au procédé utilisé. Cela permet un processus de dépôt multi-zones unique. Chaque zone peut être réglée à une température différente pour assurer un dépôt précis et uniforme sur le substrat, ainsi que pour maintenir une uniformité de température entre les substrats et des conditions de traitement différentes. La zone inférieure abrite une chambre à quartz pyrex isotherme qui peut être programmée spécifiquement pour une variété de procédés, ce qui la rend adaptée à de nombreuses techniques de dépôt. Équipé d'un support de substrat rond de 6 pouces, le réacteur AMAT 0040-00893 peut accueillir jusqu'à 150 substrats individuels pour une efficacité maximale. Le support de substrat est conçu de manière à ce que tout matériau indésirable puisse être facilement éliminé sans avoir à évacuer le système. Le réacteur est également conçu avec un système d'introduction de gaz qui est très souple et peut accueillir des précurseurs insaturés, utilisant ainsi pleinement le processus de dépôt à deux zones. Une plage de débit réglable est également incluse de manière à optimiser la vitesse de dépôt de films très spécifiques. Le réacteur est également équipé d'un port supplémentaire qui permet une surveillance in situ des paramètres du procédé, permettant une surveillance accrue du processus et de la sécurité. Utilisation des matériaux appliqués 0040-00893 Le réacteur est facile, car il est conçu avec un panneau de contrôle intuitif pour surveiller et ajuster les paramètres pour un traitement efficace et sûr. Dans l'ensemble, le réacteur 0040-00893 est un excellent choix pour la recherche et les applications industrielles, car il est équipé pour assurer un dépôt uniforme des couches minces, tout en permettant un fonctionnement sûr et efficace.
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