Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7800 RPX #293665719 à vendre en France
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ID: 293665719
Taille de la plaquette: 6"
Style Vintage: 1982
Epitaxial reactor, 6"
1982 vintage.
AMAT APPLIED MATERIALS 7800 RPX est un réacteur de traitement de substrat de 8 pouces de nouvelle génération spécialement conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. AMAT/APPLIED MATERIALS 7800 RPX offre des performances élevées en micro-fabrication et en bricolage avancé, avec une empreinte et un coût réduits. L'AMAT 7800 RPX est doté d'un design durable et performant optimisé pour les procédés à faible consommation d'énergie et à chambre dynamique. Sa construction robuste garantit que les processus semi-conducteurs sont répétables, contrôlables et d'une grande précision. L'efficacité du réacteur lui permet de gérer facilement la production de wafer à haut volume nécessaire à la fabrication de produits semi-conducteurs de qualité industrielle. Le boîtier optique avancé avec des sources lumineuses à fluorescence réglables permet un contrôle précis et répétable du processus de photolithographie. Le chargeur automatisé et les ports de chargement multiples assurent un chargement et un déchargement rapides et précis du substrat. En outre, la chambre est conçue avec des degas fiables et des capacités de serrage des plaquettes. MATÉRIAUX APPLIQUÉS 7800 RPX a amélioré les performances de l'équipement plasma qui élimine les variations de processus et augmente la répétabilité des processus. Les sources d'énergie de commutation à double fréquence maintiennent le système plasma en fonctionnement aux paramètres de processus désirés. Le régulateur de température sophistiqué ainsi que le support de plaquette thermique horizontale assurent une uniformité de température et des vitesses de refroidissement plus rapides. La machine automatique de sortie de gaz en boucle fermée à réponse rapide avec un échangeur de chaleur refroidi par liquide réfrigérant assure un contrôle efficace du gaz et des produits chimiques avec moins de temps d'arrêt. Le réacteur dispose d'un blindage RF intérieur pour éviter les fuites de rayonnement, et le haut de la chambre est recouvert de panneaux d'isolation IMD, assurant un rendement thermique maximal et une dissipation thermique optimale dans la chambre de procédé. AMAT/APPLIED MATERIALS 7800 RPX est livré avec une boîte de distribution de gaz avec soupapes, tubes et compteurs compatibles pour un dosage efficace des gaz. Avec des alarmes, des voyants lumineux et des capteurs de température et de pression, le réacteur permet un meilleur contrôle et une meilleure surveillance du processus en temps réel. Il dispose également d'un outil intégré de manutention des plaquettes, qui utilise la technologie scellée Symmetric Lane pour la manutention automatique et répétable des substrats sans risque de contamination. AMAT 7800 RPX est un réacteur complet conçu pour fournir des performances supérieures dans les opérations de fabrication de semi-conducteurs. C'est un atout très fiable qui offre précision, précision, répétabilité et robustesse.
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