Occasion AMAT / APPLIED MATERIALS AMC 7811 #9069030 à vendre en France

AMAT/APPLIED MATERIALS AMC 7811 est un réacteur à dépôt chimique en phase vapeur à basse pression (LPCVD) conçu pour la production de couches minces de haute pureté, telles que le nitrure de silicium, le silicium polycristallin, l'oxyde de silicium et le tungstène. La chambre du réacteur est composée d'acier inoxydable et peut fonctionner jusqu'à 1050 ° C selon les applications du procédé. Avec un volume interne allant de 1,2 à 7,6 pieds cubes, AMAT AMC 7811 peut accueillir jusqu'à 5 substrats de 100mm, 4 substrats de 150mm ou 2 substrats de 200mm. Le réacteur est équipé d'un puissant transport de plaquettes pour déplacer rapidement et précisément les substrats à travers l'équipement. Le transporteur fonctionne à une fréquence allant jusqu'à 10kHz en prévoyant un temps de réaction rapide. Le transport de la plaquette est conçu pour fonctionner avec un générateur RF modulé en fréquence pour un positionnement précis du substrat. APPLIED MATERIALS AMC-7811 dispose également d'un système de contrôle des procédés de pointe capable de surveiller et de contrôler des paramètres importants tels que la température, la pression de la chambre, le débit et l'humidité. En outre, l'unité offre des capacités diagnostiques avancées pour la pureté des gaz et l'uniformité des plaquettes. Ces caractéristiques garantissent la répétabilité des processus pour chaque substrat, ce qui permet d'obtenir une épaisseur et des structures de revêtement uniformes. AMC 7811 a été conçu pour répondre aux exigences exigeantes des fabricants en fournissant des processus de production efficaces et de haute qualité. Il offre uniformité et répétabilité sur une large gamme de température et de pression, avec une uniformité supérieure à ± 1 %. De plus, la machine est capable de produire des vitesses de dépôt aussi faibles que 10nm et des vitesses de dépôt allant jusqu'à 40 angströms par seconde. Les réacteurs AMAT AMC-7811 offrent un outil compact et fiable pour les besoins de recherche et de production. Il est idéal pour la production de couches minces et permet un entretien et un service faciles avec une interface utilisateur graphique intuitive (UI). En outre, l'actif est entièrement compatible avec la suite de modules de processus AMAT pour une personnalisation ultérieure souhaitée par l'utilisateur.