Occasion OXFORD Plasmalab 800 Plus #293615031 à vendre en France

ID: 293615031
PECVD System Missing parts: Gasbox Computer missing.
OXFORD Plasmalab 800 Plus est un chef de file de l'industrie des graveurs/asher conçu pour fournir à la fois haute vitesse et précision pour la production de projets industriels, de recherche et développement de gravure et d'ashing de toutes sortes. La machine se compose d'une chambre à plasma, d'un élévateur à couvercle et de sources à extrémité ouverte, à extrémité fermée et à faisceau d'ions avec alimentation électrique, d'un contrôleur numérique et d'un générateur RF, d'une interface à distance et d'une chambre de traitement de plasma. La chambre à plasma est réalisée en un matériau à base de céramique très résistant, capable de résister au plasma et à la température jusqu'à 180 ° C Cette combinaison avec un élévateur à couvercle intégré permet un accès optimisé à la chambre à plasma et le chargement complet des échantillons et le déchargement des substrats jusqu'à 200mm de diamètre. Le panneau de commande, les capteurs capacitifs et d'autres dispositifs de sécurité garantissent que l'unité peut être actionnée en toute sécurité en mode entièrement automatisé. L'etcher/asher utilise des plasmas et des faisceaux d'ions enrichis en azote de pointe en conjonction avec une technologie de puissance impulsionnelle unique. Cette combinaison de technologies permet ainsi un contrôle total des paramètres de processus de gravure et de cueillette tels que la température, la pression, le temps et la puissance. Le contrôleur numérique et le générateur RF disposent également de valeurs programmables et de diagnostics pour la détection des points d'extrémité qui permettent des résultats précis de gravure et d'ashing, même sur les substrats les plus délicats. Les sources ouvertes et fermées peuvent charger jusqu'à 50 W et les chambres de traitement jusqu'à 6 pouces de diamètre. Les sources de faisceau d'ions disposent d'énergies de faisceau jusqu'à 15keV et d'alimentations jusqu'à 50A par unité. Les cycles de processus sont programmables jusqu'à 100 processus séquentiels et peuvent être stockés pour une utilisation future. L'interface à distance permet de contrôler à distance toutes les opérations de la machine et les paramètres du processus, assurant une configuration rapide et facile de l'graveur/asher, ainsi qu'un niveau plus élevé de reproductibilité et de précision. Dans l'ensemble, Plasmalab 800 Plus etcher/asher est un outil avancé et performant offrant un processus de gravure et d'ashing fiable à des fins industrielles et de recherche. L'etcher/asher offre une automatisation et une précision supérieures, permettant des résultats cohérents et de haute qualité avec une répétabilité fiable et des résultats cohérents. Avec son design intuitif, facile à utiliser et pourtant très polyvalent, OXFORD Plasmalab 800 Plus est un graveur/asher fiable, innovant et autonome pour toutes vos exigences de gravure et d'ashing.
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