Occasion ULVAC IBS #9062038 à vendre en France

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Fabricant
ULVAC
Modèle
IBS
ID: 9062038
Deposition system Includes: BROOKS Cryopump, 16" RF Ion source, 16cm (2) Targets BROOKS Ion gauge set VAT Gate valve Temperature control Water cool system Vacuum pumping Target feedthrough HSF Size: < 12" Diameter with center hold Advanced uniformity control system.
ULVAC IBS est un type de source de faisceau d'ions haute densité à basse pression avec une meilleure qualité de faisceau d'ions et dispose d'un équipement optique d'ions à isolation magnétique optimisée. IBS est conçu pour une large gamme d'applications de faisceau d'ions, telles que la pulvérisation UHV, l'implantation d'ions, SIMS, EBIS et d'autres, et utilise une configuration de champ magnétique unique pour contrôler et orienter les trajectoires d'ions. Le noyau ULVAC IBS se compose de deux composantes principales. La première est la chambre source d'ions qui abrite un pistolet propulseur, une source d'ions en métal liquide et l'écran à phosphore. Le pistolet propulseur fonctionne pour créer des ions en bombardant des matériaux avec des électrons à haute énergie, tandis que la source d'ions en métal liquide (LMIS) produit un faisceau d'ions stable et uniforme avec une faible diffusion d'énergie. Le LMIS utilise un alliage liquide gallium-indium de faible viscosité pour générer le flux d'ions, qui est ensuite subduit par l'écran luminophore pour produire le courant de faisceau désiré. La deuxième partie d'IBS est le système optique ionique. Cette unité se compose de plusieurs aimants différents qui créent un champ 3D pour contrôler et façonner le faisceau d'ions. Ces aimants sont une combinaison de trois bobines de garniture, solénoïde, et des bobines de suppression d'électrons, qui tous coopèrent pour créer un chemin d'ions stable et garder le faisceau concentré sur l'échantillon cible. La combinaison de la source d'ions et de la machine optique d'ions garantit un faisceau d'ions de haute qualité et stable. Il permet également des faisceaux ioniques à haute densité de courant dans la gamme milliampère par cm2, ce qui est idéal pour les applications à fort courant ionique. Le champ magnétique augmente également l'efficacité du faisceau d'ions, et peut être ajusté pour créer différentes caractéristiques du faisceau, telles que l'émission sphérique et quasi-isotrope. L'ULVAC IBS dispose également d'un pompage efficace de la chambre source d'ions, d'un outil de contrôle de fonctionnement amélioré et de capacités diagnostiques avancées. Toutes ces fonctionnalités font d'IBS l'une des sources de faisceau d'ions les plus fiables et les plus robustes. Le dispositif est capable de résister aux rigueurs des applications les plus exigeantes et convient à une variété d'applications industrielles et de recherche.
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