Occasion VARIAN XM 90 #9077097 à vendre en France

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VARIAN XM 90
Vendu
ID: 9077097
Taille de la plaquette: 8"
PVD system, 8" 4 to 8" wafer handling PC/PLC control system Turbo load lock CTI CT-8F cryo pump with compressor (3) Versamag target assemblies (3) A.E. MDX-5 DC P/S's ENI OEM-12 RF generator.
VARIAN XM 90 est un équipement de pulvérisation de précision conçu pour le dépôt de matériaux en couches minces au niveau sub-ANGSTROM. Il s'agit d'une plate-forme très polyvalente et efficace pour la fabrication de couches minces pour le traitement des semi-conducteurs et les applications de métrologie. Le système VARIAN XM90 utilise une série de différentes sources de pulvérisation, y compris une cible rotative refroidie par l'eau, ainsi que des sources à gaz et à courant continu/rf, qui peuvent toutes être contrôlées individuellement pour offrir une gamme de possibilités de dépôt. XM 90 se compose d'une unité de contrôle, qui dispose de multiples interfaces IO et utilisateur pour assurer un fonctionnement facile. Le contrôleur permet à l'utilisateur de définir des paramètres tels que la vitesse de rotation cible et la pression de la chambre, ainsi que de fournir une rétroaction sur les caractéristiques des couches minces et des substrats. XM90 comprend également des capteurs et des composants pour surveiller la puissance, la température et la pression partielle, qui permettent un contrôle précis des dépôts. VARIAN XM 90 intègre une unité d'admission et d'échappement des gaz pour maintenir un fonctionnement propre et exempt de contaminants. Il comprend également une machine d'étranglement programmable capable de maintenir une pression constante à l'intérieur de la chambre et de contrôler la distribution des gaz réactifs. VARIAN XM90 est conçu pour fonctionner dans une plage de températures allant de -60 ° C à + 300 ° C et est capable de déposer des matériaux avec une grande variété de caractéristiques. XM 90 est livré avec plusieurs configurations en fonction des exigences de dépôt de couches minces souhaitées par l'utilisateur. Il supporte à la fois des systèmes de cibles rotatifs et planaires, ainsi qu'une gamme de matériaux cibles tels que le métal, l'oxyde, le carbone diamant et le diélectrique. L'outil peut également être configuré pour permettre le dépôt de plusieurs couches en même temps. Globalement, XM90 est un actif de pulvérisation très robuste et fiable capable de déposer des couches minces avec une précision sous-ANGSTROM. Sa conception polyvalente et efficace permet un dépôt précis des couches minces, ainsi qu'un fonctionnement et un entretien faciles. Avec sa capacité à déposer plusieurs couches de matériau en même temps et sa large gamme de paramètres de processus, VARIAN XM 90 est un outil puissant pour la fabrication de couches minces.
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