Occasion HITACHI S-9200SA #165834 à vendre en France
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ID: 165834
Taille de la plaquette: 6"-8"
Style Vintage: 2000
CD SEM system, 8"
Workstation:
Model : B2600
O/S :HPUX
Software Version : 18.35ev15
IP Read : 5.4~16.1pA(Low mode)
CD measurement principle: Cursor and line profile measurement
CD measurement range: 0.1 to 2.0 um
Secondary electron image resolution: 3nm
Image magnification: SEM image; 500 x 300,000
Optical microscope image; about x110
Specimen stage:
Movement range X and Y: 0-200mm
Stage drive: Pulse motor
Control and speed: max. speed 100mm/s
Wafer loader:
Wafer transfer from cassette to loader chamber: Auto transfer via wafer transfer robot
Wafer transfer from loader chamber to stage: Auto evacuation and auto loading
Wafer transfer robot system: random access using (2) cassettes
Wafer detection in cassette: Auto detection via wafer searcher
Chucking method: Vacuum chucking on back of wafer
Orientation flat/ V notch detection: non-contact auto detection via optical sensor
Electron Optics: Schottky emission type
Accelerating voltage: 500 to 1600V
Lens system: Electromagnetic condenser lens system, booster objective lens
Secondary electron detection: Scintillator/ photomultiplier detection system
Objective lens aperture: Heating type movable aperture
Scanning coil: 2-stage electromagnetic type (X, Y axes)
Probe current monitoring: Faraday cup incorporated, with automatic measurement function
Optical microscope: 1.2 mm square visual field, monochrome image
Control and display system:
Viewing control CRT: 21 type monitor
Scanning modes: TV scan, HR scan, SLOW scan
Image processing: Software processing using filtering
Saftey device: Equipped with emergency off switch
CD measurement data processing system:
File storage
Storage media: Hard disk (2GB), 3.5 type magneto-optic disk, 3.5 floppy disk
Data processing function: statistics scanning using worksheet system
Printout: 80-character thermal printer
Evacuation system:
Evacuation principle: Full automatic dry & clean evacuation
Vacuum pumps: (3) Ion pump, (2) turbo molecular pump, (2) oil rotary pump
Safety devices
N2 Gas source (for leak):
Gas pressure: 200 to 660 kPa
Outside Diameter of connecting tube: 6um
Compressed air source (for valve drive)
Air pressure: 600 to 880 kPa
Outside diameter of connecting tube: 6mm
Vacuum source (for auto loader)
Vacuum pressure: P= 1.3 to 21.3 kPa
Outside diameter of connecting tube: 6mm.
VIPS and Cognex are missing
Currently warehoused
2000 vintage.
Le microscope électronique à balayage HITACHI S-9200SA est un outil de haute performance pour des exigences scientifiques et industrielles avancées. Il offre une résolution d'imagerie supérieure, la flexibilité et la facilité d'utilisation avec ses technologies avancées de balayage et de détection. Sa grande chambre et son système antivibratoire haute résolution offrent un environnement très stable et une clarté d'image supérieure, tandis que sa large gamme d'opérations automatisées garantissent un fonctionnement efficace et convivial. S-9200SA dispose d'un PCO ultra haute résolution haute vitesse (optique combinée appropriée) et de systèmes de sonde de balayage, qui peuvent être facilement modifiés et offrent une longue distance de travail jusqu'à 160 mm afin de répondre à diverses tailles et formes d'échantillons. Cette fonctionnalité est idéale pour les échantillons non standard. Le BCP, ainsi que la préparation multi-inclinaison et rotation de l'échantillon, permet une clarté optimale de l'image. Le système de balayage offre une résolution d'imagerie exceptionnelle et un contraste avec l'intégration d'une colonne à ultra-haut vide (UHV) et d'un étage de rotation d'échantillon. Il comporte également un mouvement automatique de l'étage d'échantillonnage et un manipulateur d'échantillon à six axes pour analyse détaillée. La grande précision linéaire de l'étage d'échantillonnage est également avantageuse pour mesurer avec précision les pièces de taille moyenne et de petite taille. Le microscope est également équipé d'une gamme complète de détecteurs et de processeurs de signaux, depuis les électrons secondaires et les détecteurs d'électrons rétrodiffusés jusqu'à l'analyse élémentaire EDX (EDX), la microanalyse aux rayons X (XRM) et la cathodoluminescence. Il dispose également d'imagerie numérique avancée avec la capacité d'effectuer des analyses de profondeur 3D, des techniques automatisées de corrélation des pixels et diverses fonctions intégrées telles que le mode de balayage de ligne et le découpage en Z. Cela garantit l'acquisition et l'analyse de données fiables ainsi qu'un accès facile aux résultats. HITACHI S-9200SA offre une qualité d'image supérieure, avec un fond à faible bruit, et un rapport signal/bruit élevé. Cela permet d'utiliser le microscope dans des applications exigeantes des sciences de la vie et de l'industrie, comme le nanosurfaçage, l'industrie des semi-conducteurs, l'électronique, les sciences des matériaux et la nanotechnologie. Dans l'ensemble, S-9200SA est un microscope électronique à balayage haut de gamme qui combine une résolution d'imagerie supérieure avec des options polyvalentes pour des échantillons sophistiqués, permettant des analyses et des recherches complexes. Sa gamme d'opérations automatisées, de détecteurs et de processeurs sophistiqués, ainsi que ses capacités d'analyse de profondeur 3D en font un outil idéal pour les projets de recherche tant industriels qu'universitaires.
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