Occasion MRC / TEL / TOKYO ELECTRON Eclipse #166464 à vendre en France

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ID: 166464
RMA magnet assembly, model A126387 D1 Oriental Motor: 5IK40GN-AW.
MRC/TEL/TOKYO ELECTRON Eclipse est un équipement de pulvérisation utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et de MEM. Le système est constitué d'outils de pulvérisation directe et indirecte, ce qui le rend idéal pour des applications telles que le dopage, le dépôt de couches minces et la gravure. L'outil de pulvérisation directe utilise la pulvérisation magnétron, qui utilise des champs magnétiques pour ioniser et accélérer un gaz inerte pour créer un plasma qui va pulvériser du matériau de la cible sur le substrat. Cette méthode de pulvérisation est très efficace, ce qui la rend idéale pour les séries de production à faible volume. L'outil de pulvérisation indirecte utilise une chambre de dépôt bobine à bobine pour pulvériser du matériau de la cible tournante sur le substrat. Cette méthode peut être utilisée pour des dépôts de couches minces uniformes et de grande qualité à grande échelle car la cible peut être remplacée rapidement et facilement. Les deux services ont plusieurs recettes de processus, permettant une personnalisation facile et l'optimisation pour répondre aux besoins. L'unité de pulvérisation utilise également un panneau de contrôle et un logiciel qui permet à l'utilisateur de surveiller la stabilité du processus, assurant un traitement constant et cohérent des plaquettes. MRC Eclipse est capable de pulvérisation à base d'argon et d'azote, permettant une sélectivité supérieure des matériaux. La machine est équipée d'une fonction d'auto-alignement qui permet un positionnement facile et précis de la cible et du substrat dans la chambre de pulvérisation. De plus, TEL Eclipse est compatible avec une gamme de modules optionnels, tels que la pulvérisation thermique réactive, la source d'ions et le mandrin électrostatique. Cela permet une plus grande flexibilité et précision pour concurrencer les exigences des divers processus. L'outil offre également un outil de manutention de plaquettes entièrement automatisé, conçu pour augmenter la productivité et réduire la fatigue. Ce modèle permet des procédures de pulvérisation préprogrammées, et fonctionne sans intervention manuelle. En combinant la dernière technologie de pulvérisation avec un logiciel intuitif, Eclipse fournit un équipement de pulvérisation fiable et efficace qui peut répondre aux besoins de divers processus. Avec des fonctionnalités avancées telles que la production à faible volume, l'alignement de précision et la manipulation automatisée des plaquettes, TOKYO ELECTRON Eclipse est une option idéale pour les professionnels de l'industrie.
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